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日本坂本电机SEM SELN-001B 数显水平仪 简介

更新时间:2026-06-06      浏览次数:31
  SELN-001B 是日本坂本电机原装出品分体式超高精密双轴数显水平仪,精密制造、半导体设备校准行业标配机型,分体探头搭配触屏主机,测值微米级精准,专门用来精密调平设备基准面、检测工件倾斜角度,多用于无尘车间、精密机床、光学设备点检校准。

一、技术规格

测量方式:X/Y 双轴同步检测,分体传感器有线 2 米连线
测量量程:X/Y 轴 ±0.3°
测量精度:±0.001°(约 17.5μm/m)
显示分辨率:0.0002°,屏幕最小显示 0.0001°
零点重复性:≤±0.001°
响应速度:≤50ms,读数实时跟进
探头规格:Φ50×19mm 不锈钢底座,单探头 70g
主机规格:96×35×145mm,整机 280g,4.3 英寸彩色触控屏
供电方式:4 节 5 号干电池 / DC6V 适配器双供电
适用温度:-10℃~+50℃,适配恒温洁净厂房
单位切换:°、μm/m、度分秒一键切换,三档量程可调

二、工作原理

仪器搭载高精度 MEMS 电容传感模组,探头贴附被测平面后,内部传感器捕捉 X、Y 两个方向细微倾角变化,经过 32 位处理器 + 14 位模数转换运算,直接把倾斜数值换算成数据在触屏显示;自带滤波与电磁抗干扰算法,车间震动、弱电干扰环境下数值不飘移,不用人工肉眼判读水泡,全数字化读数。

三、现场使用优势

1、双轴同测,调平效率翻倍

传统单轴水平仪需要来回测 X、Y 两个方向、反复微调,这款一次摆放就能同步读取两轴倾角,一次性完成找平,调校工时直接节省一半,新手也能快速调好基准。

2、分体小巧探头,攻克狭小测量死角

圆形迷你探头体积小、重量轻,能伸进设备腔体、机台夹缝、晶圆台窄缝等常规水平仪放不下的位置,密闭设备内部点位也能轻松测数据。

3、触屏智能设定,合格范围一键管控

触屏可自定义合格公差区间,实测数值达标屏幕提示 GOOD、超差提示 NG,不用人工换算比对,批量设备验收、产线点检标准化作业更省心。

4、抗干扰稳定,复杂工况数据靠谱

内置电磁屏蔽 + 振动补偿,半导体射频环境、机床启停震动工况下读数稳定,零点不容易偏移,长期反复测量重复性好。

5、多单位自由切换,适配不同行业标准

角度、毫米每米多单位一键切换,机械加工、光学、半导体不同行业公差标准都能适配,数据可留存做验收台账。

四、适用场景

  • 半导体:光刻机、键合机、CMP 抛光台、真空腔体水平校准

  • 精密加工:五轴机床、磨床、三坐标工作台导轨调平

  • 光学仪器:光学平台、检测设备、镜头装配基准校正

  • 实验室:精密量具校验、恒温试验台水平核查

  • 自动化设备:非标设备机架、伺服平台倾角调试

五、日常维护

日常保持探头底座清洁无磕碰,避免硬质硬物刮伤基准平面;闲置时断电存放干燥环境;建议每年返厂校准一次,整体故障率低,长期使用精度稳定。


  坂本 SELN-001B 是工业精密级分体式数显水平仪,主打微米级高精度、双轴同步测量、狭小空间适配,没有多余冗余功能,专攻高精设备基准调平,是半导体与精密机械行业认可度很高的进口倾角测量仪器。


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