描述：日本 ulvac 爱发科 MS 螺杆干式真空泵日本 ULVAC 爱发科 MS 系列螺杆式干式真空泵，专为腐蚀性气体、含粉体排放工艺开发，干式无油结构，泵腔内部无需润滑油。转子与气缸做特殊耐蚀涂层处理，优化螺杆型线提升粉体排出能力，可避免粉末堆积造成泵体卡死。从大气压极限真空全压力区间可连续运行，水冷降温，自带消音结构。广泛用于半导体刻蚀、去胶、锂电池电极干燥等工艺，处理含粉尘、腐蚀性溶剂蒸气的排

日本 ulvac 爱发科 MS 螺杆干式真空泵日本 ulvac 爱发科 MS 螺杆干式真空泵

日本 ULVAC 爱发科 MS 系列螺杆式干式真空泵，专为腐蚀性气体、含粉体排放工艺开发，干式无油结构，泵腔内部无需润滑油。转子与气缸做特殊耐蚀涂层处理，优化螺杆型线提升粉体排出能力，可避免粉末堆积造成泵体卡死。从大气压限真空全压力区间可连续运行，水冷降温，自带消音结构。广泛用于半导体刻蚀、去胶、锂电池电极干燥等工艺，处理含粉尘、腐蚀性溶剂蒸气的排气，获取洁净真空环境。

核心参数表

表格

产品详情

整机一体化箱式结构，泵体、驱动电机、消音器集成在柜体内部。正面设置控制操作面板，可查看运行状态、报警信息；侧面布置冷却水接口、进气口、排气口，配套吹扫气体接口。内部为一对反向同步旋转螺杆转子，进气口可加装前置粉尘过滤器。整套包含真空泵主机、水冷管路接头；可选配件：入口粉尘过滤器、吹扫气调压组件、减震底座。

产品性能

设备依靠一对螺杆转子同步旋转，腔体容积周期性变化完成抽气，干式无油设计，不会产生真空油污染，也无需定期更换真空油。转子、气缸内壁采用特殊耐腐蚀涂层，耐受多种腐蚀性工艺气体。螺杆采用专属型线设计，粉体不容易附着堆积，可连续排出工艺产生的细微粉末，降低泵卡死风险。支持全压力区间连续运转，无需旁路切换。内置消音组件，运行噪音低；水冷结构控制泵体温度，减少溶剂蒸气冷凝，降低内部腐蚀。设备具备缺水、过载、超温等多重联锁保护，出现异常自动停机，保护泵体。可接入上位机通讯，上传运行参数与故障报警信号，适配自动化产线。

用材

泵腔转子、气缸基材为特种铸铁，表面做耐腐蚀复合涂层；外壳采用加厚碳钢静电喷涂；电机为工业级三相异步电机；水冷管路 SUS304 不锈钢；密封件选用耐化学氟橡胶；内部轴承长效润滑。进气法兰采用不锈钢材质，适配真空管路安装。

型号

MS120A（小抽速）、MS600A（中抽速）、MS1200A（大抽速）；可选前置粉尘过滤器、惰性气体吹扫组件、减震底座。

用途

半导体刻蚀、等离子去胶、等离子清洗工艺排气；锂电池电极干燥、脱泡、真空注液；真空烧结、热处理炉排气；冷冻干燥、真空干燥设备；各类工艺中含有粉体、腐蚀性溶剂蒸气的真空排气工况。

包装

实木防震木箱封装，泵主体固定加固，接口加装保护堵头，管路、配件独立缓冲防护。附带原厂操作手册、电气图纸、出厂检验报告，箱内填充防潮防锈材料。

使用说明

将泵固定在减震底座，连接真空管路、冷却水、吹扫气管路，接入三相电源。开机前确认冷却水流量正常，按需通入吹扫保护气。启动泵体，从常压向目标真空抽气，实时监控温度、电流状态。停机前先切断工艺气源，持续通入吹扫气，清理泵内残留粉尘与腐蚀性气体，待泵体降温后关闭冷却水。定期清理前置过滤器，检查转子涂层状态，排查管路腐蚀。