描述：日本pureron普若隆PGF-2在线陶瓷气体过滤器日本 pureron（普若隆）PGF 系列 PGF-2 在线式陶瓷气体过滤器，采用蜂窝氧化铝陶瓷滤材，气体过滤精度可达 0.003μm，具备高耐热特性，最高可 200℃高温烘烤除气。外壳 SUS316L 不锈钢，内壁低粗糙度，低析出。推荐流量 10~200L/min，耐压性能优异，泄漏率极低。可去除超纯气体内纳米级颗粒，烘烤后水汽可降至 5ppb

日本pureron普若隆PGF-2在线陶瓷气体过滤器日本pureron普若隆PGF-2在线陶瓷气体过滤器

日本 pureron（普若隆）PGF 系列 PGF-2 在线式陶瓷气体过滤器，采用蜂窝氧化铝陶瓷滤材，气体过滤精度可达 0.003μm，具备高耐热特性，最高可 200℃高温烘烤除气。外壳 SUS316L 不锈钢，内壁低粗糙度，低析出。推荐流量 10~200L/min，耐压性能优异，泄漏率极低。可去除超纯气体内纳米级颗粒，烘烤后水汽可降至 5ppb 以下。适用于半导体 LSI 制程，安装在工艺气体管路，保护精密设备，用于腐蚀、高纯气体的连续在线过滤。

核心参数表

表格

产品详情

产品细节图滤芯内部采用三层梯度蜂窝陶瓷结构，逐级捕获纳米微粒，纳污能力强，不易堵塞。整体为在线管路安装结构，直接串联在高纯气体管道中，不占用过多空间，适配半导体设备狭小管路段。滤器壳体采用 SUS316L 不锈钢，内壁精密抛光，减少颗粒物吸附、降低金属离子析出；陶瓷元件化学稳定性好，耐多种腐蚀性工艺气体。支持 200℃高温烘烤，烘烤可脱除吸附的水汽与杂质，把气体中水含量控制在 5ppb 以内，满足半导体制造严苛洁净需求。整套含 PGF-2 过滤器本体；可选 VCR 垫片、配套接头、管路配件。

产品性能蜂窝陶瓷多层梯度过滤结构，可稳定截留 0.003μm 超微颗粒，在长时间连续供气工况下过滤性能稳定。陶瓷材质耐高温、抗化学侵蚀，相比金属烧结滤芯，脱气性能更优，适合需要定期烘烤的超纯气体管路。极低的外漏率，保障管路系统整体气密性，避免外界杂质渗入工艺气体。滤芯耐久性好，正常工况维护周期长，减少产线停机频次。注意：本产品为气体过滤专用，液体工况精度仅 0.1μm，不能当作液体高精度滤芯使用。

用材过滤元件：氧化铝蜂窝陶瓷；滤器壳体、进出口接头 SUS316L 不锈钢，内壁电解抛光；密封件适配高纯气体工况，低析出。

型号PGF 系列，PGF-2 为其中规格；同系列 PGFL/PGFLX 大流量款；配件 VCR 金属垫片、接头。

用途半导体行业：LSI、光刻、刻蚀、薄膜沉积工艺超纯工艺气体在线过滤；电子制造高纯腐蚀性气体净化；精密分析仪器气源净化；各类需要高温烘烤、超低水汽的高纯气体管路系统。

包装单支独立密封真空包装，两端防尘保护堵头，泡沫防护，纸箱封装。箱内含材质证明、出厂检测报告。

使用说明安装前清洁管路，按照气体流向接入管路，紧固 VCR 接头。系统投用前可按工艺条件做 200℃烘烤除气，降温后投入运行。监控进出口压差，压差超标建议更换。严禁超压使用；若含大量粉尘前置预过滤，防止陶瓷元件堵塞。