描述：日本 Ayumi-ind ML-03M 超高真空全金属角阀ML-03M 是日本 Ayumi-ind（アユミ工業）手动全金属超高真空角阀，无橡胶密封圈，采用 OFC 无氧铜刀口密封结构，密闭性能优异，漏率≤6.7×10⁻¹¹Pa・m³/s。工作温度 0~300℃，最高支持 350℃烘烤除气，极限真空可达 10⁻⁸Pa 以下，法兰 ICF34。阀内 SUS304 成型波纹管，全开流导 8.5L/s，密

日本 Ayumi-ind ML-03M 超高真空全金属角阀日本 Ayumi-ind ML-03M 超高真空全金属角阀

ML-03M 是日本 Ayumi-ind（アユミ工業）手动全金属超高真空角阀，无橡胶密封圈，采用 OFC 无氧铜刀口密封结构，密闭性能优异，漏率≤6.7×10⁻¹¹Pa・m³/s。工作温度 0~300℃，最高支持 350℃烘烤除气，极限真空可达 10⁻⁸Pa 以下，法兰 ICF34。阀内 SUS304 成型波纹管，全开流导 8.5L/s，密封盘可单独更换，维护便捷，用于半导体、真空镀膜、电镜、科研超高真空腔体管路通断隔离。

产品介绍

产品细节图阀体为紧凑型角式结构，顶部配置手动多圈调节旋钮，阀身两侧为 ICF34 标准 CF 法兰接口，法兰面精密刀口加工。阀体内置成型 SUS304 波纹管，隔绝真空腔体与大气，避免污染物进入腔体。密封部位采用 OFC 无氧铜垫片，密封边缘结构，锁紧扭矩 5~7N・m 即可实现可靠密封。整套阀门为主阀体，无氧铜密封垫片为消耗配件，可单独采购替换。阀体体积小巧，直接集成在超高真空管路中，占用空间小，适配小型腔体、分析设备、镀膜设备的真空管路安装。

产品性能全金属密封结构，无橡胶 O 圈，不存在高分子放气问题，适合超高真空洁净腔体。氦检漏漏率 6.7×10⁻¹¹Pa・m³/s 以下，密闭性稳定。长期工况 0~300℃，可承受最高 350℃烘烤除气，烘烤后真空性能不衰减。全开流导 8.5L/s，气体流通顺畅。依靠 SUS304 成型波纹管实现阀杆往复动作，波纹管抗疲劳，减少漏气风险。密封磁盘可单独拆卸更换，无需整体更换阀门本体，降低后期使用成本。仅需 5~7N・m 密封扭矩，装配简单，适合半导体真空腔体、扫描电镜、溅射镀膜设备、材料真空热处理等超高真空系统管路隔离。

用材阀体主体 SUS304 不锈钢，精密机加工，内腔低放气。波纹管采用 SUS304 一体成型波纹管，延展性好，耐反复开合。密封垫片为 OFC 无氧铜，质地软，配合刀口结构形成金属硬密封，耐高温烘烤。法兰刀口精密研磨，保证密封面平整度。全部核心部件不含橡胶、塑料等有机材料，不会在高温真空环境释放气体污染腔体。

参数表

表格

型号ML-03M 属于 Ayumi-ind ML 系列全金属超高真空阀；同系列还有多种口径规格 ML 系列阀门，适配不同流导需求。整套为主阀体，无氧铜垫片为消耗品，可按需采购备用垫片。

用途半导体设备超高真空管路通断隔离；扫描电镜、X 射线分析仪器真空腔体；溅射镀膜、真空蒸镀设备；材料真空热处理、真空烧结腔体；科研院所超高真空实验装置；需要高温烘烤、极低放气、高密封性能的真空系统，隔绝大气，维持腔体超高真空状态。

包装硬质防震木箱，阀体法兰口加装保护盖板，防止刀口磕碰损伤；无氧铜垫片独立密封袋包装。箱内附带原厂氦检报告、安装维护手册，适合进口长途运输，开箱清点配件。

使用说明安装前清洁法兰刀口，放置全新 OFC 铜垫片，对接 ICF34 法兰，按 5~7N・m 扭矩对角均匀锁紧螺栓。旋转顶部手轮控制阀门开闭，烘烤前确认阀门处于指定状态，缓慢升温，避免热冲击。每次拆装建议更换新铜垫片，防止垫片塑性变形造成泄漏。定期氦检检漏，禁止超温使用；保护法兰刀口，划痕会直接影响密封效果。