欢迎来到津越工业设备(武汉)有限公司!
18771980172
相关文章 / ARTICLE
2026-10-15
2026-10-22
2026-10-21
2026-09-11
2026-09-28



产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本 ehwa PDW 半导体薄晶圆硅片精密金刚线日本 ehwa PDW 半导体薄晶圆硅片精密金刚线
ehwa PDW 精密金刚线,适配半导体薄晶圆、硅锭切片,采用无浆料切割工艺。钢丝基体表面固结均匀金刚石磨粒,切割过程无需碳化硅研磨浆料,减少废液处理。线径精细,切缝损耗小,切割后硅片 TTV、翘曲度控制稳定,降低崩边。具备良好金刚石把持力,断线率低,切割速度高于传统浆料工艺。适用于半导体薄硅片、蓝宝石等硬脆材料切片,是半导体晶圆加工的消耗型切割线材。
产品细节图产品为金属卷盘缠绕的超细金属线材,线体表面电镀固结金刚石磨粒,卷盘采用铝合金材质,防止线材在运输、上机过程发生挤压变形。单卷线材整齐缠绕,两端做保护固定,避免线材松脱、互相刮擦损伤金刚石颗粒。可直接安装在多线切割机上使用,无需配套研磨浆料供给系统。同规格线材可批量上机连续切片,根据晶圆厚度需求,选择不同线径、金刚石粒度型号。线材属于一次性消耗品,切割达到规定里程后进行更换。
产品性能采用电镀固结金刚石颗粒结构,金刚石颗粒分布均匀,对薄硅片进行切割时,切削力稳定。无浆料干式 / 湿式切割工艺,省去传统砂浆切割所需浆料循环系统,减少固废、废液产生。切缝窄,材料损耗更低,薄晶圆切片后的总厚度偏差 TTV、翘曲 bow、弯曲 warp 指标可控,减少后续研磨工序压力。金刚石颗粒与基体结合牢固,切割过程不易脱落,断线风险低,线材使用寿命稳定。切割效率相比传统砂浆切割提升明显,可提升产线产能,适配 6 英寸、8 英寸薄硅片批量切片。可适配硅、蓝宝石、碳化硅等多种硬脆半导体晶体材料。
用材芯线采用高强度高张力特种钢丝,抗拉强度高,承受高速往复切割拉力不易断裂。表层采用镍基电镀结合层,牢牢固定人造金刚石磨料,结合层韧性合适,既保证金刚石把持力,又不会过度钝化切削刃口。金刚石磨粒经过分级筛选,粒度一致性高,保证切割断面均匀。收线盘采用铝合金,刚性好,不易变形,防止线材挤压受损。线材表面做钝化处理,储存阶段不易氧化生锈。
参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | PDW 精密金刚石线 |
| 基材 | 高张力钢丝 |
| 磨料 | 人造金刚石 |
| 线径规格 | 20~60μm 可选 |
| 金刚石粒度 | 5~10μm 可定制 |
| 切割工艺 | 无浆料切割(Slurry free) |
| 特点 | 窄切缝,低崩边,长寿命 |
| 适用材料 | 单晶硅、多晶硅、蓝宝石等硬脆晶体 |
| 配套设备 | 多线切片机 |
| 存储条件 | 常温干燥环境,防潮 |
型号PDW 为 Precision Diamond Wire 精密金刚线系列,可按线径、金刚石粒度、线材长度定制型号。不同线径适配不同厚度晶圆切片,线径越细,切缝损耗越小,适合超薄硅片加工。线材属于消耗品,需要根据切割里程定期更换。
用途半导体薄硅片切片、硅锭开方;蓝宝石晶圆、碳化硅晶体切片;光学硬脆晶体切割;光伏硅片加工。多用于半导体晶圆制造工厂、材料研发实验室,完成晶体切片工序。
包装独立密封铝箔袋封装,线材卷盘放入硬质防震纸盒,内部缓冲泡棉固定,避免运输震动造成线材松卷、表面磨粒磕碰脱落。包装内附带产品规格标签、出厂检验报告。每卷独立防潮包装,防止仓储环境水汽造成钢丝锈蚀。开箱检查线材表面无划痕、松卷情况。
使用说明存放于干燥常温仓库,避免潮湿环境。上机前检查线材表面有无损伤、锈蚀,确认卷盘转动顺畅。按照设备规范,将金刚线安装至多线切割机,设定切割工艺参数。采用无浆料工艺,仅使用冷却水冷却、排屑,不添加研磨砂浆。切割过程监控断线报警,出现断线及时停机排查。达到额定切割里程后,更换新的金刚线卷。储存和搬运时禁止拉扯、弯折线材,避免金刚石颗粒脱落,影响切割质量。
售后服务到货提供开箱验收,协助选型和工艺参数参考。原厂提供产品质量保障,在正常工艺条件下,如出现批量质量异常可进行评估处理。金刚线属于消耗耗材,不适用长期质保。可提供切割工艺咨询,协助匹配线径、粒度,优化薄晶圆切片方案,降低崩边、TTV 不良率。
这款 PDW 精密金刚线最大特点就是支持无浆料切割工艺,和传统砂浆切割相比,不再需要持续循环碳化硅研磨浆料,简化产线配套设备,同时减少危废处理成本,更加环保。超细的线体带来更小切缝,减少珍贵半导体晶体材料损耗,对于薄晶圆生产尤为关键。电镀工艺保证金刚石颗粒牢固附着在线材表面,在高速切割工况下维持稳定切削能力,降低断线停机风险,保障产线连续运行。切割后晶圆的表面质量好,崩边缺陷少,减少后续抛光、研磨工序的加工余量。使用过程中重点管控冷却水洁净度,避免杂质刮伤线材表面金刚石,同时做好仓储防潮,防止钢丝基材锈蚀,保障上机切割稳定性。
拿起手机扫一扫Copyright © 2026津越工业设备(武汉)有限公司 All Rights Reserved 备案号:鄂ICP备2026021557号-1
技术支持:化工仪器网 管理登录 sitemap.xml