描述：日本Simco-Ion半导体10nm兼容N2离子发生器日本 Simco-Ion 4214 内联 N2 离子发生器，专为优良半导体 10nm 制程开发，达到扩展 ISO Class1 洁净等级。采用高频 AC 电离技术，直接电离高纯氮气，无需依靠氮气内微量杂质生成离子；单晶硅电极低粒子析出，离子自平衡，可快速中和晶圆表面静电，降低微粒吸附。内置多重故障报警，气体流量不足自动停机保护。设备体积紧凑，便

产品型号：4214
厂商性质：代理商
更新时间：2026-10-19
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本Simco-Ion半导体10nm兼容N2离子发生器日本Simco-Ion半导体10nm兼容N2离子发生器

日本 Simco-Ion 4214 内联 N2 离子发生器，专为优良半导体 10nm 制程开发，达到扩展 ISO Class1 洁净等级。采用高频 AC 电离技术，直接电离高纯氮气，无需依靠氮气内微量杂质生成离子；单晶硅电极低粒子析出，离子自平衡，可快速中和晶圆表面静电，降低微粒吸附。内置多重故障报警，气体流量不足自动停机保护。设备体积紧凑，便于集成在半导体工艺设备腔体内部，DC24V 供电，支持信号告警输出，用于光刻、刻蚀、薄膜沉积等晶圆制程静电管控，防止静电吸附微颗粒造成器件良率损失。

产品介绍

本产品为日本 Simco-Ion 4214 内联式高纯氮气离子发生器，面向优良半导体制造，满足 10nm 工艺超高洁净需求，安装于工艺管路内，将高纯氮气电离，输送正负离子中和晶圆表面静电，抑制静电吸附微小颗粒，规避静电击穿、微粒污染带来的产品不良，适配机台内部嵌入式集成。产品性能：采用高频交流电离原理，可直接电离高纯氮气，区别于普通氮气离子发生器依赖气体内杂质产生离子的方式，在超高纯度 N2 工况下依然稳定产出离子。离子自平衡设计，离子平衡可控制在 ±25V 以内，静电消散速度稳定，满足 SEMI E78 半导体离子发生器评估标准。内置微处理器实时监测设备状态，具备低离子输出、高压故障、低气体流量三类告警，可通过继电器信号向外输出告警信号；气体流量不足时自动关闭高压，保护电极与机台安全，还支持待机模式降低功耗。整机结构紧凑，可直接嵌入半导体工艺腔体狭小空间，DC24V 供电适配设备自动化控制系统，长时间连续运行性能稳定，微粒释放极低，满足扩展 ISO Class1（10nm）洁净要求。用材：设备外壳选用耐腐蚀航空铝合金，表面低析出处理，不易释放微粒。放电电极采用单晶硅材质，低粒子析出，可单独更换，适配超洁净环境；气体管路接头采用 316L 不锈钢 Swagelok 接头，密封性能优异，无析出污染。内部高压组件做密封隔离，电路板选用工业级元器件，具备过压保护；内置可更换微型气体过滤器，阻挡管路杂质进入电离区域，减少电极污染。所有密封件选用耐高纯氮气、低析出特种橡胶，不会释放有机污染物，保障晶圆制程洁净等级。核心参数表

表格

参数项目	规格指标
产品型号	4214
离子产生方式	高频 AC 电晕放电
洁净等级	扩展 ISO Class1，兼容 10nm 制程
电极材质	单晶硅（可更换）
适用吹扫气体	高纯氮气≥99.998%
推荐气体流量	40~90LPM，最大 100LPM
最大进气压力	207kPa
气体最高温度	60℃
离子平衡	≤±25V
供电规格	DC24V±5%，典型功耗 6W
告警功能	低离子输出、高压故障、低流量报警
外形尺寸	152×72.6×32mm（不含歧管）
整机重量	约 0.64kg（不含歧管）
气体接口	3/8" OD Swagelok 接口

用途：半导体前端晶圆制造，光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗工艺腔体内部静电中和；10nm 级别优良制程晶圆静电管控，降低静电吸附纳米颗粒风险；真空 / 氮气吹扫工位静电消除；精密光学元件、掩膜版高纯氮气吹扫除静电；高纯洁净设备内部集成式静电消除，防止 ESD 静电击穿器件，减少微粒吸附提升制程良率。

包装：整套包装包含 4214 离子发生器主机、316L 不锈钢气体接头、安装固定支架、产品手册。采用防静电实木箱包装，内部防震缓冲材料，主机、电极、密封配件独立防尘包装，防止运输过程微粒污染，开箱可直接在洁净车间安装。选配管路、过滤器单独分装。

使用说明：安装在高纯氮气管路中，确认管路洁净无油污、微粒；按照规范连接 3/8" Swagelok 管路，接通 DC24V 供电，接入告警信号线路。开机前先通入氮气吹扫管路，确认气体流量在 40~90LPM 区间后，再启动电离功能。运行期间监控设备告警信号，低流量告警触发时系统自动切断高压，排查管路堵塞、供气异常后方可重启。定期按维护周期更换单晶硅电极与内置过滤器；拆装电极、管路必须在洁净环境操作，佩戴无尘手套，禁止触碰电极放电区域。外壳清洁仅可使用无尘布擦拭，禁止有机溶剂；不可拆解电离腔体，防止内部污染。

售后服务：我司供应产品，到货协助开箱验收，核对主机、电极、配件完整性，提供管路安装、信号接线、工艺调试技术指导。产品非人为损坏情况下按原厂质保执行；电极粉尘污染、管路杂质腐蚀、供气异常损坏、私自拆机不在质保范围。后期可提供单晶硅电极、内置过滤器等耗材采购，半导体除静电工艺方案可线上沟通，原厂规格书与维护手册配套提供。

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