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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本katsura-opto三轴传感器夹角位移倾斜日本katsura-opto三轴传感器夹角位移倾斜
产品简介本款设备产自日本,属于非接触式三轴光学传感设备,可同步采集光学平面双轴倾斜角度与 Z 向位移数据。设备集成自准直与三角测量原理,单束激光即可完成三轴检测,采样速度快,测量稳定。适配高反射光学平面试样,可集成至各类光学平台、精密对位设备,用于光学元件、晶圆组件的平行度、倾斜、位移在线检测,适合光学研发与精密装配场景。
产品介绍本款日本 katsura-opto VH-1200 光学三轴传感器,融合自准直仪与激光三角测量技术,单束激光一次性同时获取 θX、θY 两个方向倾斜角度以及 Z 向位移三组数据,无需多传感器组合,简化设备集成布局。设备搭载 660nm 红色激光光源,光斑直径细小,对被测表面干扰极小,采用一体化传感设计,传感器头部与信号处理单元整合,整机结构紧凑便于嵌入自动化设备内部。设备对被测件要求为光学平面,推荐表面反射率 80% 以上,工作距离固定为 90±0.5mm,高速采样可达 10000 次每秒,能够捕捉微小动态形变与角度偏移,适合动态监测场景。机身壳体选用铝合金加工,表面做阳极氧化处理,抗形变、抗电磁干扰能力强,在实验室与洁净车间环境均可稳定工作,外形尺寸 W110×D150×H56mm,体积小巧,安装孔位标准化,方便固定在光学支架与自动化工装之上。核心参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | VH-1200 |
| 测量项目 | θX、θY 倾斜角,Z 向位移(三轴) |
| 测量原理 | 自准直 + 激光三角法,非接触测量 |
| 被测对象 | 光学平面,推荐反射率≥80% |
| 工作距离 | 90±0.5mm |
| 倾斜测量范围 | ±60arcmin |
| 位移测量范围 | ±1.5mm |
| 光源参数 | 660±10nm,光斑 Φ0.3mm |
| 采样速率 | 10000 次 / 秒 |
| 外形尺寸 | W110×D150×H56mm |
| 输出方式 | 数字信号输出,配套上位软件 |
设备用于光学平面的夹角、位移、倾斜度同步检测,多用于光学镜头模组、晶圆、光学基板、精密载台、光通信元件的平行度校准、装配对位、形变监测,可集成在半导体键合设备、光学检测平台、摄像头模组调芯设备中,实时反馈角度与位移信号,用于闭环对位控制。产品采用防震木箱包装,内部填充防静电缓冲材料,传感器主机、通讯线缆、光盘版操作软件、安装配件、说明书独立分隔固定,规避运输震动与静电损伤,开箱核对配件清单,检查光学窗口有无划痕。使用前固定传感器至稳固光学支架,按要求调节被测件至规定工作距离,连接通讯线缆接入电脑,安装配套上位软件;测量前清洁被测光学表面,避免粉尘影响反射效果,启动设备进行零点校准后开始采集数据。使用过程中保护前端光学窗口,禁止硬物触碰镜片,设备应远离强振动、强光源与粉尘环境;长期停机存放于干燥防静电箱内。我司可提供到货后的安装指导,协助客户完成传感器调试、软件安装、参数读取操作,讲解零点校准、工装对位方法。主机按原厂标准提供质保,质保期内非人为损坏故障,提供远程技术排查;如需现场调试,可另行沟通安排。光学窗口、通讯线缆等易损配件不在主机质保范围内。使用中遇到测量异常、信号调试、设备集成相关疑问,可随时联系技术人员,同时支持备件采购、定期校准等配套服务。
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