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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本yamamoto-ms晶圆电镀专用电源日本yamamoto-ms晶圆电镀专用电源
该款为山本镀金试验器的超精密可编程电镀电源,适配 2 至 4 英寸晶圆、MEMS、传感器等试样电镀实验,电压电流分辨率高,自带 PID 温控接口,支持 PC 通讯与多语言界面,配套数据采集分析软件,适合实验室精密电镀工艺开发与参数验证。
产品介绍本司供应日本 yamamoto-ms 山本镀金 YPP15031WA 晶圆电镀装置专用电源,型号 A-57-15031WA,面向半导体小微试样电镀研发场景,输出控制细腻稳定,适配各类精密电沉积工艺测试。产品性能方面,设备为低纹波、低噪声可编程输出架构,电压最小设定分辨率 1mV,电流最小分辨率 10μA,电量分辨率 1μC,可精准控制镀层生长速率与厚度均匀性。自带独立温控控制回路,支持 PID 恒温调控,可联动电镀槽温控模块,维持电镀过程温度稳定。机身搭载显示屏与调节旋钮,操作直观,支持中文、英文、日文界面切换,具备 CE 标识,适配实验室规范要求。设备支持电脑联机,配套 Plate Laboratory 软件,可完成程序编辑、电镀时序设定、数据存储、曲线回看与工艺模拟计算,方便工艺人员记录、复盘电镀参数。用材上,壳体采用金属钣金结构,抗电磁干扰能力良好,接线端子采用耐腐蚀导电材质,长期连续实验不易发热氧化;面板布局区分输出端口、温控接口、通讯接口,线路排布清晰,减少接线误操作风险。
核心参数表
表格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | YPP15031WA(A-57-15031WA) |
| 输入电源 | AC100~240V±10%,50/60Hz |
| 输出规格 | DC 0~15V,0~3A |
| 分辨率 | 1mV,10μA,1μC |
| 温控负载 | 最大 1KVA,PID 控制 |
| 外形尺寸 | W260×D396×H221mm(不含凸起) |
| 重量 | 约 10.4kg |
| 适配系统 | Windows 8/10/11 |
用途上,主要用于 2~4 英寸半导体晶圆、MEMS 器件、微型传感器、微小工件滚镀等精密电镀实验,广泛用于高校实验室、半导体研发企业工艺打样、配方筛选、镀层性能对比测试。包装采用防震木箱包装,主机、电源线、通讯线、说明书、配套软件光盘分隔放置,运输过程降低磕碰风险,到货附带原厂资料。使用说明:设备放置于平稳干燥台面,按标识接好输入电源、电镀电极以及温控组件,通电后可在面板直接设定电压电流,也可通过 USB 连接电脑调用配套软件编辑电镀流程;开机前确认接线极性,避免短路,设备使用环境避开强腐蚀气体、粉尘。售后服务:到货后协助指导接线与软件调试;设备质保周期按原厂标准执行,故障可提供原厂配件采购、维修对接服务,技术端支持工艺配套咨询。
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