描述：日本FLOVEL 6英寸双面自动检测显微镜该款搭载电动 XY 载台的双面显微镜系统，配备上下两组光学镜头，可同步采集样品正反面图像，自动识别对位标记，测量正反面图案偏移、线宽尺寸，自带自动对焦，适合 6 英寸以内晶圆、MEMS、晶振器件的双面对位检测。

日本FLOVEL 6英寸双面自动检测显微镜日本FLOVEL 6英寸双面自动检测显微镜

该款搭载电动 XY 载台的双面显微镜系统，配备上下两组光学镜头，可同步采集样品正反面图像，自动识别对位标记，测量正反面图案偏移、线宽尺寸，自带自动对焦，适合 6 英寸以内晶圆、MEMS、晶振器件的双面对位检测。

产品介绍我司供应日本 FLOVEL（フローベル）TOMOS-60XY 双面自动检测显微镜，专为样品正反面同步观测、偏移量测量开发，集成正立、倒立两套独立光学成像通道，搭配程控电动 XY 载台与双路自动对焦单元，无需翻面即可同时获取工件正反两面画面，是 MEMS、半导体小件研发与品质检验常用的对位测量设备。产品性能方面，设备电动 XY 载台行程 150×150mm，适配 6 英寸以内试样；系统搭载图像识别算法，可自动识别圆形、方形、十字类对位标记，抓取标记中心坐标，计算正反面之间的位置偏移量，同时支持线宽、间距尺寸测量，测量重复性可达 ±0.3μm（满足指定环境条件）。支持点位配方登记，预先设置多个检测位置，载台自动移动巡回检测，自动保存图像与测量数据，生成检测报表。内置光轴、倍率、安装 θ 补偿功能，降低装配偏差带来的测量误差；双路照明亮度独立可调，适配不同透光、反光材质样品。配套软件支持正反面图像叠加重合显示，方便人员直观核对图案偏差。用材上，整机基座为高刚性铸铁底座，抑制载台移动带来的震动，保障成像稳定；镜筒、载台模组经过精密加工，长期重复定位漂移小；光学镜片多层镀膜，降低反光杂散光干扰；外壳做防静电处理，适配无尘实验室环境；相机接口、信号线路屏蔽处理，减少电磁干扰对图像识别的影响。

核心参数表

表格

用途上，主要用于水晶振子、MEMS 器件、半导体小型芯片、喷墨喷嘴、薄型基板等工件正反面对位偏差检测，也用于薄膜、封装元件双面图案尺寸检验，适合工艺开发、来料检验、成品抽检工序。包装采用定制防震熏蒸木箱，主机、光学镜组、相机、控制器、配套软件、校准标片、说明书独立缓冲防护。使用说明：设备放置防震洁净工作台，做好接地；开机先执行原点回归与光轴补偿校准；导入检测配方后执行自动巡检；定期清洁物镜端面与载台台面；避免强光直射、粉尘长期堆积；物镜属于精密光学件，擦拭使用专用无尘纸。售后服务：到货协助安装、光路校准、软件操作培训；原厂标准质保，物镜、光源、相机为选配消耗配件，支持单独采购；可提供对位测量方案、标记识别调试技术咨询。