描述：日本RION理音KS-41B多通道液体颗粒计数器日本 RION 理音 KS-41B 侧向散射式液中颗粒传感器，半导体行业专用，默认 5 通道，搭配 KE-40B1 控制器最多拓展至 10 通道。常规最小检测 0.1μm，纯水等透明液体可测至 0.07μm，额定流量 5mL/min。接液部位为合成石英 + PFA，耐高纯试剂、光刻胶、SOG 溶液。支持在线管路监测、离线批次取样，自带漏液报警，可接入

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更新时间：2026-10-26
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本RION理音KS-41B多通道液体颗粒计数器日本RION理音KS-41B多通道液体颗粒计数器

日本 RION 理音 KS-41B 侧向散射式液中颗粒传感器，半导体行业专用，默认 5 通道，搭配 KE-40B1 控制器最多拓展至 10 通道。常规最小检测 0.1μm，纯水等透明液体可测至 0.07μm，额定流量 5mL/min。接液部位为合成石英 + PFA，耐高纯试剂、光刻胶、SOG 溶液。支持在线管路监测、离线批次取样，自带漏液报警，可接入 KZ-51 多点监测系统，适合超纯水、光刻胶、半导体湿化学品颗粒管控，数据对接产线监控系统。

产品介绍

日本 RION 理音 KS-41B 是面向先进半导体制程的激光散射式液体颗粒检测单元，主打光刻胶、SOG、超纯水这类高洁净液体的微粒子计数，是晶圆厂湿区、化学品供液管路常用型号。设备本体无显示面板，必须搭配 KE-40B1 控制器供电、设置粒径通道、读取数据。采用 532nm 固态激光器、侧向散射光学结构，相比前向散射，对微小颗粒信噪比更好，适配光刻胶这类有微弱荧光的液体。接液材质选用合成石英与 PFA，析出极低，不会污染高纯药液，满足半导体化学品管控标准。测量模式灵活，既可串联在供液管路做在线连续监测，也可以搭配注射器取样器做离线批次抽检；支持多点组网，一台 KZ-51 可联动多支 KS-41B，实现多测点同步监控。内置漏液传感，发生渗漏时输出报警信号，保护产线洁净环境。粒径通道在 0.1~0.5μm 区间自由设定，出厂预设 5 档，控制器端升级后最大 10 个粒径通道，满足多档分级统计。注意本机不带流量控制，流量需要外部管路稳压、限流装置维持稳定。

核心参数表

表格

项目	参数
型号	KS-41B
光学方式	侧向光散射法
光源	532nm 半导体泵浦固体激光，500mW，Class1
接液材质	合成石英、PFA
默认通道	5 通道：≥0.1、0.15、0.2、0.3、0.5μm
拓展通道	搭配 KE-40B1 控制器，最多 10 通道
最小可测粒径	常规 0.1μm；纯水透明液体可选 0.07μm
额定流量	5mL/min
最大颗粒浓度	9600 个 /mL（重合损失≤10%）
供电	DC12V（由 KE-40B1 供给）
外形尺寸	164(H)×464(W)×305(D)mm
重量	约 12.5kg
附加功能	漏液检测报警、CE 认证

用途

半导体超纯水系统颗粒在线监测；光刻胶、SOG 旋涂药液颗粒检测；湿刻、清洗高纯化学品品质管控；化学品进厂来料抽检；晶圆厂洁净供液管路多点连续监控；新材料、精密电子高纯溶剂洁净度验证。

包装

KS-41B 传感器、配套控制器、取样配件、管线分开防护，木箱封装；附带日文原版手册、出厂 PSL 标准粒子校准报告。

使用说明

管路提前冲洗，避免管路残尘造成数据偏高；必须配套外部稳流装置，保证流量稳定；光刻胶等高粘度药液需确认流动性，防止气泡干扰计数；定期用标准 PSL 颗粒校准；避免强光、震动；长期停机前用高纯溶剂冲洗流道，防止药液干结污染石英检测池。

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