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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION富士科技 BV-NW63AXON 气动真空蝶阀富士科技 BV-NW63AXON 气动真空蝶阀
FUJItechnology 两段式气动真空蝶阀,NW63 卡箍法兰结构,支持三位置控制,半开、全开、全闭档位切换,低放气,洁净真空工况适配,半导体、真空镀膜设备常用,卡箍拆装方便,密封可靠。产品介绍产品细节图:实拍阀体、气动执行器、NW63 卡箍法兰接口、位置标识、密封面,执行器调节旋钮、信号反馈接口清晰,方便客户核对管路接口规格。产品性能:气动驱动,阀门响应速度快,支持三档位开度控制,能够精准调节管路通断与气体流量,适配工艺中需要微调真空度的场景。阀体密封性能优异,低放气材质,不容易污染真空腔体,满足半导体、镀膜等高洁净工艺要求;卡箍式法兰结构,拆装便捷,检修、更换阀门时不用复杂焊接,缩短停机时间,适配中高真空管路环境,长期使用密封衰减缓慢。用材:阀体主体为不锈钢,耐气体腐蚀;密封件采用氟橡胶材质,耐真空析出;执行器壳体为铝合金,轻量化,不易生锈。参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | BV-NW63AXON |
| 法兰 | NW63 卡箍 |
| 驱动 | 气动 |
| 供气压力 | 0.4~0.6MPa |
| 开度 | 全闭、半开、全开三档 |
型号:BV-NW63AXON用途:真空镀膜、半导体制程、真空腔体排气、真空管路通断与流量控制。包装:独立纸箱,阀口密封袋封装,防止杂质进入阀体,附带合格证与说明书。使用说明:使用卡箍对接真空管路,接入洁净干燥压缩空气,接入控制信号,调试位置反馈信号,确认密封无泄漏后投入使用;定期检查密封面,避免颗粒杂质划伤密封件,气源前端建议加装过滤器。售后服务:供应密封件等耗材备件,提供真空泄漏排查指导。
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