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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATIONAdvanced Energy Monroe 284 静电测试仪Advanced Energy Monroe 284 静电测试仪
这款静电测试设备可测量物体表面静电电位,适合半导体材料生产环节的静电状态排查与 ESD 防护效果审计工作,帮助工艺人员识别静电风险点位,降低静电放电对敏感器件的损伤概率。
产品细节图可观测测试感应探头、主机液晶显示屏、薄膜操作按键、便携防滑握持手柄与数据导出接口,机身轻巧便于手持完成全工位巡检。产品性能依托非接触静电感应测量原理,可在安全距离外读取目标表面静电电位,测量响应快,读数直观稳定,支持测量数据存储导出,方便 ESD 审计工作的记录留档。用材选用抗静电机身材料,探头屏蔽结构可降低外界杂散电场的测量干扰,外壳耐磨,适配车间高频次巡检的作业场景。型号为 Monroe 284,用途覆盖半导体产线静电点位巡检、ESD 防护效果验证、敏感器件生产环境静电排查、材料表面静电状态检测等场景。配套参数表包含测量量程、分辨率、响应时间、推荐测量距离、数据存储容量、输出接口等项目。产品包装为便携防护箱,主机与探头分仓固定,避免探头磕碰影响感应精度。使用时按规程对已知静电标准源完成校准,手持探头在规定距离内测量目标表面电位,记录对应测量数据,测试完成后将探头置于防护套内存放。售后提供仪器校准、操作培训,支持探头部件检修更换。
表格
| 参数项目 | 参数参考值 |
|---|---|
| 测量量程 | ±20kV |
| 分辨率 | 10V |
| 响应时间 | <0.1s |
| 推荐测量距离 | 25mm |
| 存储容量 | ≥1000 组 |
| 输出接口 | USB |
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