描述：日本Adtec-RF TXR/TXL 系列高周波射频电源该系列射频电源为半导体、液晶制造工艺配套，输出功率稳定，匹配响应速度快，有多款功率规格可选，适配刻蚀、溅射、薄膜沉积等工艺，是真空制程设备的核心供电单元。

产品型号：TXR、TXL
厂商性质：代理商
更新时间：2026-11-02
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本Adtec-RF TXR/TXL 系列高周波射频电源日本Adtec-RF TXR/TXL 系列高周波射频电源

该系列射频电源为半导体、液晶制造工艺配套，输出功率稳定，匹配响应速度快，有多款功率规格可选，适配刻蚀、溅射、薄膜沉积等工艺，是真空制程设备的核心供电单元。

产品细节图可以看到电源主机、射频输出接口、匹配控制端口、通讯接口、操作显示屏、散热风道、功率调节按键。产品性能内置自动射频匹配网络，负载变化时可快速完成匹配，维持工艺功率稳定，不同型号覆盖不同功率区间，适配小型实验设备和量产产线设备。支持多种通讯协议，可接入上位机或者设备 PLC，实现功率、驻波、运行状态的远程监控与参数下发，具备驻波保护、过温保护，异常时自动切断射频输出，保护腔体与电源本体。整机的频率稳定性高，工艺重复性好，能够减少薄膜工艺的波动，适配液晶面板、半导体晶圆的薄膜加工制程。用材射频输出回路采用高耐流部件，壳体散热风道经过优化，内部电路板做防腐蚀防护，适配洁净车间环境。型号 TXR、TXL、TXM、TXH，用途覆盖半导体刻蚀工艺、溅射镀膜、PVD/CVD 工艺、液晶面板薄膜制备、实验室等离子工艺设备。配套参数表包含工作频率、功率档位、通讯接口、驻波保护阈值、冷却方式、供电。产品采用防震木箱包装，射频接口配有防尘堵头，信号线单独隔离放置。使用时连接射频线缆与匹配器，确认腔体接地良好，设置工艺功率参数，定期检查射频线缆老化情况，清洁散热滤网。售后提供射频匹配调试、通讯对接、维修保养、备件供应。

参数项目	参数参考值
工作频率	13.56MHz
功率档位	100W~3000W 分型号
通讯接口	RS485 / 以太网
保护机制	驻波 / 过温 / 过流保护
冷却方式	风冷 / 水冷分型号
供电	AC200V

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描述：日本Adtec-RF TXR/TXL 系列高周波射频电源该系列射频电源为半导体、液晶制造工艺配套，输出功率稳定，匹配响应速度快，有多款功率规格可选，适配刻蚀、溅射、薄膜沉积等工艺，是真空制程设备的核心供电单元。

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