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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本okano冈野AMC-202N32-R微线圈真空计日本okano冈野AMC-202N32-R微线圈真空计
该款真空测量设备依托微线圈传感结构,相比传统热丝式真空计抗震动能力更好,分为 VCR 接头与螺纹接头两款规格,信号输出稳定,适配半导体镀膜、真空腔体等精密工况,可接入自动化系统持续采集真空数据。
产品细节图可以看到真空传感主体、VCR 密封接口或者螺纹连接端口、数字显示面板、信号接线端子、状态指示灯、固定安装基座,整机体积紧凑,可直接装配在真空管路、腔体侧壁,不会占用过多设备空间。产品性能采用微线圈传感结构,规避传统热丝容易因为冲击、震动发生断裂的问题,设备自带散热均热结构,降低环境温度变化带来的测量偏差,内置冲洗功能,适合容易产生粉尘、污染物的真空环境使用。设备支持三点上下限开关输出,同时搭配模拟记录输出与 USB 通讯接口,方便上位机采集记录真空变化曲线,适配连续制程监控需求。用材传感腔体选用适配高洁净真空工况的不锈钢材质,密封件气密性稳定,壳体表面做防尘防护处理,接线位置带有屏蔽结构,降低车间电磁信号带来的数据干扰。型号包含 AMC-202N32-VCR、AMC-202N32-R,用途覆盖半导体镀膜腔体真空监控、科研实验真空管路监测、工艺真空系统点检、真空设备联动控制。配套参数表包含测量范围、测量精度、输出信号、工作温度、接口类型、供电规格。产品采用防震纸盒独立包装,接口位置配有防尘保护堵头,说明书、固定配件、通讯线缆一并收纳。使用前确认接口密封垫片完好,完成接线后通电预热,接入控制系统读取真空数据,定期检查密封位置,清理传感部位附着杂质,按照周期进行零点校验。售后提供真空管路对接指导、参数调试、故障排查、密封垫片、接头配件长期供应。
表格
| 参数项目 | 参数参考值 |
|---|---|
| 测量范围 | 1Pa~100000Pa |
| 测量精度 | ±20% FS(中真空区间) |
| 输出信号 | 0-5V 模拟量、USB、三点继电器输出 |
| 工作温度 | 0℃~50℃ |
| 接口 | VCR / R 螺纹可选 |
| 供电电压 | DC24V |
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