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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国TK-FUJIKIN半导体管路不锈钢气体过滤器韩国TK-FUJIKIN半导体管路不锈钢气体过滤器
SS-C1500-8VM 为半导体管路用不锈钢气体过滤器,SS-C 系列,滤芯截留微小颗粒,接气部禁油处理,适配高纯惰性气体、腐蚀性工艺气体,安装在气路面板去除微粒杂质。产品细节图可见不锈钢过滤本体、VCR 接口、滤芯仓、密封金属垫片,整体小巧,适配洁净管路布局。产品性能本体 SUS316L 不锈钢,内部精密滤芯,可截留气体内固体微粒;全流程禁油处理,满足半导体洁净气体规范;金属密封结构,泄漏率低,适配高纯气体输送;可在线更换滤芯,无需拆解整套管路,耐压性能稳定,适配持续供气工艺。用材阀体、滤芯基座 SUS316L,密封件为金属垫片,滤芯根据需求选择不同精度。型号 SS-C1500-8VM,用途半导体晶圆工艺、气体柜、气体面板、高纯氮气、氩气、特种腐蚀气体颗粒过滤。配套参数表包含材质、接口形式、过滤精度、耐压、泄漏标准、处理方式。产品单独防尘包装,接口带保护堵头,防止污染。安装时避免磕碰密封面,定期按周期更换滤芯;拆装在洁净环境操作。售后提供滤芯选型、备件供应、洁净管路配套方案。
表格
| 参数项目 | 参数参考值 |
|---|---|
| 主体材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 接口 | VCR 8VM |
| 处理工艺 | 禁油洁净处理 |
| 密封形式 | 金属密封 |
| 泄漏率 | He 检漏标准 |
| 适用流体 | 高纯工艺气体 |
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