描述：日本 sibata 柴田科学半导体洁净检测设备这套面向洁净车间的检测仪器，包含粒子计数设备、恒流采样泵以及配套捕集耗材，用于洁净环境监测。可以完成颗粒计数、气态污染物采样，满足半导体厂房检测规范。采样泵流量稳定，便携款式方便现场巡检；配套各类吸附管、冲击瓶，针对酸性雾气与有机气体采集。仪器自带数据存储功能，检测记录方便导出，原厂配套齐全，华中地区支持方案搭配。

产品型号：SPH‑033
厂商性质：代理商
更新时间：2026-11-06
访问量：

产品咨询联系我们

产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本 sibata 柴田科学半导体洁净检测设备日本 sibata 柴田科学半导体洁净检测设备

这套面向洁净车间的检测仪器，包含粒子计数设备、恒流采样泵以及配套捕集耗材，用于洁净环境监测。可以完成颗粒计数、气态污染物采样，满足半导体厂房检测规范。采样泵流量稳定，便携款式方便现场巡检；配套各类吸附管、冲击瓶，针对酸性雾气与有机气体采集。仪器自带数据存储功能，检测记录方便导出，原厂配套齐全，华中地区支持方案搭配。

产品介绍

产品细节图粒子计数器自带触控屏幕，机身小巧，手持操作顺手，底部带有底座，可以固定在线持续监测；大流量采样泵壳体轻便，正面设置流量调节按键与程序存储区域；迷你采样泵体型更小，适合长时间背负采样；冲击瓶为透明容器，搭配专用夹具固定；各类吸附管规格区分清晰，方便按检测目标挑选。仪器接口规整，数据线、采样管线拆装简单，便于携带进入洁净区域。

产品性能粒子计数器可以同时测量多档粒径颗粒，采集的数据可以本地保存，支持无线传输读取；恒流采样泵可以稳定维持设定流量，内置多组采样程序记忆，不用每次重新设置；迷你泵续航能力良好，适合长时间现场采样；冲击瓶与吸附耗材可以捕获不同种类气态污染物，后续送到实验室做成分解析。整套方案兼顾在线持续监测与移动巡检，适配洁净厂房日常品质核查。

用材仪器外壳采用低析出工程塑料，适配洁净环境；冲击瓶可选石英或者聚丙烯材质；采样管路析出控制严格；滤膜夹具加工精密，保证采样气流稳定；泵体内部阀件耐磨，长期恒流运行不容易漂移；屏幕带有防护膜，便于擦拭清洁。

项目	规格
型号	SPH‑033、LVS‑30、MP‑W5P、MP‑ΣⅡ、PMP‑001
检测方向	悬浮粒子计数、气体、雾气采样
流量范围	按机型区分，覆盖低流量到大流量
数据功能	数据存储、数据导出、无线通讯（部分机型）
配套耗材	滤膜、吸附管、冲击瓶、夹具
适用规范	ISO14644‑1、SEMI、JIS B9920