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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本阿苏美技研172准分子真空紫外照射装置日本阿苏美技研172准分子真空紫外照射装置
该款设备采用平面准分子光源,可完成样品表面光清洗与活化改性。整机自带臭氧分解结构,无需配套大型排风设施,供电简单,便于放置在实验室开展试样研发。可搭配位移扫描平台,处理不同尺寸试样,照射过程对基材损伤偏低,适合各类新材料表面处理工艺摸索。
产品介绍产品细节图,设备整体为柜式一体化结构,上部布置照射灯组,下方集成位移扫描平台,台面平整,可平稳放置各类试样。机身侧面设置通风口与控制按键,面板配有状态指示灯,接口布局规整。内置臭氧分解组件收纳于设备内部,外部无多余外挂管路,整机走线收纳整齐,便于安置在实验室工作台。灯组窗口平整,可均匀释放紫外光线,扫描平台运行平稳,移动过程不易产生震动干扰试样。
产品性能,设备依靠射频驱动光源,输出稳定,启停响应迅速。依靠真空紫外激发活性物质,实现有机污染物去除以及表面亲水化处理,不会形成强等离子轰击,降低基材受损伤风险。扫描模式能够扩大有效处理区域,适配不同规格试样。自带臭氧分解单元,处理过程产生的副产物在机内分解,降低现场排风配套压力,设备运行期间照度波动小,多次处理的效果一致性良好,适合反复比对工艺条件。
用材,光源窗口选用高透光特种石英,适配对应波段光线透过;平台台面采用不易形变的金属板材,表面做防锈处理;外壳选用稳固钣金,喷涂耐污涂层;内部驱动电路配有屏蔽结构,降低电磁干扰;密封构件耐老化,减少气体渗漏,内部分解模块填料选用长效耗材,维持持续处理能力。
参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 光源类型 | 氙准分子平面光源 |
| 主波长 | 172 nm |
| 驱动方式 | RF 射频驱动 |
| 处理方式 | 扫描式照射 |
| 配套结构 | 内置臭氧分解装置 |
| 供电 | AC100 V |
| 可选规格 | 研发机型、量产定制机型 |
型号,主力机型为研发扫描款,面向实验室试样开发;另有量产宽幅机型,可支持大尺寸工件连续处理,能够按照工件尺寸、气氛环境、照射幅宽进行定制。选型时确认试样尺寸以及工艺需求,选择扫描款或是固定面照射款式。
用途,多用于各类材料表面亲水化改性、试样表面有机污染物光清洗、薄膜表面活化,也用于新材料研发阶段工艺摸索,适配高分子材料、光学基材、半导体小样等试样处理。
包装,设备采用实木框架加泡沫缓冲防护,外部缠绕保护膜,配套纸质文件单独收纳,随货附带出厂检测资料与操作手册,运输过程降低震动磕碰带来的损伤。
使用说明,安放设备时保证周边通风顺畅,确认供电稳定后再启动设备,放置试样前将台面清理干净,避免碎屑遮挡光线。调试扫描速度与照射时长,按照工艺需求设定参数,设备运行过程不要打开照射舱门。定期检查臭氧分解耗材状态,按照手册提示开展维护,长期停机前将设备内部清理干净。
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