描述：MDCOM MEUTHW-9-330 晶圆准分子照射单元该模组面向大尺寸晶圆量产工艺，搭载多支准分子光源，单支灯管输出可以独立调节，实现均匀照射效果。采用风冷供电结构，输出稳定，适合集成在半导体产线设备内部，完成薄膜固化、光清洗以及光刻胶灰化等工序。照射窗口尺寸充裕，适配主流大尺寸晶圆。

MDCOM MEUTHW-9-330 晶圆准分子照射单元MDCOM MEUTHW-9-330 晶圆准分子照射单元

该模组面向大尺寸晶圆量产工艺，搭载多支准分子光源，单支灯管输出可以独立调节，实现均匀照射效果。采用风冷供电结构，输出稳定，适合集成在半导体产线设备内部，完成薄膜固化、光清洗以及光刻胶灰化等工序。照射窗口尺寸充裕，适配主流大尺寸晶圆。

产品介绍产品细节图，模组整体为规整箱体结构，照射窗口平整宽大，内部多支灯管有序排布，灯间距经过优化。箱体侧边预留供电以及控制接口，管线排布规整，适合嵌入自动化设备。模组外壳刚性强，安装点位预留到位，便于设备集成厂商固定安装，风冷散热口分布合理，运行时气流顺畅，不会对晶圆工位造成干扰。

产品性能，每一支灯管照度均可独立调节，以此优化照射均匀度，在有效区域内照度偏差控制在较低水平。光源输出稳定，配套高频射频电源，风冷结构保障长时间连续运行，适合不间断量产工况。依靠真空紫外完成光化学反应，可以实现薄膜固化、表面清洗以及灰化处理，工艺效果稳定，能够满足半导体前道制程对于一致性的严苛需求，灯管规格、照射长度都可以按照设备需求调整。

用材，照射窗口选用高纯度石英，保障目标波段透过；内部灯座选用耐高温绝缘构件；箱体采用防锈金属板材，散热结构经过流体优化；电路部分带有屏蔽防护，降低对周边精密传感器的干扰；内部固定件选用耐腐蚀材质，适配洁净车间环境。

参数表

表格

型号，MEUTHW-9-330 为标准款，面向大尺寸晶圆；厂商支持定制版本，可以更改灯管数量、照射长度、外形尺寸，适配不同集成设备。选型时确认集成空间、晶圆尺寸以及工艺对于照度均匀性的要求。

用途，多用于半导体晶圆表面光清洗、聚硅氮烷薄膜固化、光刻胶灰化、氧化硅以及氮化硅相关工艺处理，适配自动化量产设备集成。

包装，模组采用定制防护木箱，内部缓冲材料包裹照射窗口，防止石英磕碰，配套接线图纸、检测报告以及说明书，发货前做好防护，降低运输破损风险。

使用说明，集成安装按照图纸固定，接线确认无误之后再通电，运行期间保证散热通道通畅，不要遮挡风口。按照工艺要求调试单支灯管输出，定期监测照度，对照明衰减情况进行维护。洁净车间使用时保持窗口洁净，避免颗粒附着影响照射效果。

售后服务，交付提供安装对接指导，在规范使用前提下提供质保；灯管属于消耗件，可以单独订购，同时提供集成调试相关技术支持。