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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本 ORC UV-M06 真空紫外照度计准分子光源日本 ORC UV-M06 真空紫外照度计准分子光源
这款仪器专门用于特定波段真空紫外光线检测,可以读取照度以及累积光量数值。配套专用受光元件,测量结果可溯源,支持数据向外传输,方便长期记录光源衰减情况。机身操作简便,适合准分子光源日常点检,为工艺管控提供量化依据。
产品介绍产品细节图,仪器分为主机与独立探头两个部分,探头外形小巧,前端配有保护窗口,方便伸入设备狭小照射腔内部采集信号。主机配有显示面板与功能按键,机身侧面设有数据输出接口,探头通过线缆和主机相连,线缆柔韧,便于弯折摆放。面板标识清晰,可以快速切换测量项目,整机便携,能够携带至产线设备旁完成现场检测。
产品性能,仪器支持照度以及累积光量两种测量模式,量程覆盖工艺常用区间,测量重复表现稳定,测量数值可溯源至标准体系。探头针对真空紫外波段优化,规避普通探头无法准确采集信号的问题。测量数据可以通过通讯接口输送至外部设备,方便建立光源寿命跟踪记录,定期监测灯管衰减,保障生产工艺稳定,读数响应迅速,适合产线快速点检。
用材,探头窗口采用适配真空紫外的透光材料,内部感光元件做好防护;主机外壳选用抗冲击工程塑料,按键耐磨;线缆外皮耐弯折,长期反复拉动不容易开裂;接口内部金属镀层稳定,多次插拔依旧保持良好导通。
参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | UV-M06 |
| 配套探头 | UV-SD172H-M06 |
| 测量项目 | 照度、累积光量 |
| 通讯接口 | RS-232C |
| 对准精度 | ±5.0% 以内 |
| 重复精度 | ±1.5% 以内 |
| 适用光源 | 172 nm 准分子光源 |
型号,本款为适配该波段准分子光源的专用照度计,探头可以单独更换;ORC 还有其他型号照度计,对应不同紫外波段,不可混用。选型时确认光源波长,匹配对应的探头与主机。
用途,多用于准分子照射设备日常点检、光源照度记录、灯管寿命管控、工艺验证、设备出厂校验,是使用该类紫外处理设备配套的计量器具。
包装,主机与探头分别放置在防护箱内,内部成型泡棉固定位置,配套数据线、说明书以及出厂校准证书,防护箱便于收纳携带。
使用说明,使用前确认探头保护窗口洁净,如有污渍轻柔擦拭,避免刮伤透光面。开机静置片刻再开展测量,采集数据时探头放置位置保持稳定,不要晃动。测量完成及时记录数据,长期存放将探头收纳在防护箱,避开强光与高温环境,定期送校保证测量可靠。
售后服务,在规范操作前提下提供质保,探头属于精密部件,划伤破损不在质保范围;可协助读数设置以及上位机对接调试,支持定期校准服务。
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