描述：日本福乐FV-60大抽速无尘室无油隔膜真空泵这款大流量无尘室专用无油隔膜真空泵，运行无油雾排放，防静电构造可以降低静电风险。抽气流量相比同系列更小机型更高，负压输出平稳，适合需要较大抽速的洁净制程，华中地区可协助工艺调试与配套方案。

日本福乐FV-60大抽速无尘室无油隔膜真空泵日本福乐FV-60大抽速无尘室无油隔膜真空泵

这款大流量无尘室专用无油隔膜真空泵，运行无油雾排放，防静电构造可以降低静电风险。抽气流量相比同系列更小机型更高，负压输出平稳，适合需要较大抽速的洁净制程，华中地区可协助工艺调试与配套方案。

产品细节图整机为立式紧凑结构，防静电外壳一体成型，进气口位于泵体一侧，出气口设置在另一侧，两处都搭载高效过滤组件。泵内部采用双隔膜结构，抽气效率更高；机身背部布置供电端子与可选信号接口，可接入设备控制系统。底部减震脚垫能够削弱运行产生的震动，降低传递到台面或者机架的振动；隔膜腔体支持独立拆卸维护，单向阀组件可以单独取出清洗或者替换。接头规格适配洁净软管，装配时不容易产生碎屑，整机表面光滑，擦拭清洁简单，满足无尘室日常清洁要求。产品性能电机驱动双隔膜交替往复运动，配合单向阀实现连续抽气，无油设计杜绝油气污染洁净气流。该机型抽速更高，可以快速建立目标负压，适合容积偏大的负压回路；气路脉动经过结构优化，负压波动小，有利于吸附工件保持稳定。防静电壳体持续泄放静电，降低精密器件被静电损伤的概率；内置过滤系统双向防护，既阻挡外界粉尘进入泵体，也防止泵内部磨损产生的微粒流向制程端。设备可以长时间连续运行，过载时具备保护机制，环境温度稳定的洁净空间内，输出一致性较好，能够匹配自动化产线连续作业需求。用材防静电工程塑料外壳；双隔膜采用高耐久弹性材料；阀片耐反复弯折疲劳；进出气滤芯为高效低析出滤材；管路接头为耐化学塑料；减震脚垫为低挥发弹性材料；内部传动部件表面经过处理，减少微粒脱落。参数表

表格

型号该款为同系列大抽速版本，可选择是否配备反馈信号接口，过滤器也有不同耐化学规格可选。选型时核算管路容积、目标负压以及允许抽气时长，如果介质带有化学蒸汽，需要确认滤材兼容性。用途无尘车间大批量工件吸附、洁净管路快速抽真空、气体在线取样、半导体与光学制程负压供给、实验室大流量洁净负压获取。包装硬质纸箱，内部缓冲防护，泵口配有防尘堵，线缆、备用滤芯、操作手册以及出厂检验文件分开收纳固定。使用说明安装位置保持水平，管路减少弯折与过长冗余，管路内部提前清洁，避免杂质带入泵腔。通电之后先空载运行，确认运转平稳，再接入负载；运行过程留意负压变化，如果负压持续下降，优先排查过滤器堵塞情况。不允许吸入高浓度腐蚀气体以及大量固体粉尘，必要时在前级增加预处理装置。定期更换滤芯，按照周期检查隔膜与阀片状态；长期停用前使用洁净干燥气体吹扫气路，之后封闭接口。维护操作尽量在洁净区域开展，避免污染泵内部气路。