描述：日本福乐 FLUORO无尘室无油隔膜真空泵这款适用于无尘环境的无油隔膜真空泵，运行过程无需加注润滑油，不会产生油气污染。设备具备防静电特性，气流通路洁净稳定，能够匹配洁净车间的使用规范，多用于精密制程的负压吸取作业，华中地区可协助配套管路选型。

日本福乐 FLUORO无尘室无油隔膜真空泵日本福乐 FLUORO无尘室无油隔膜真空泵

这款适用于无尘环境的无油隔膜真空泵，运行过程无需加注润滑油，不会产生油气污染。设备具备防静电特性，气流通路洁净稳定，能够匹配洁净车间的使用规范，多用于精密制程的负压吸取作业，华中地区可协助配套管路选型。

产品细节图整机结构紧凑，外壳为防静电材质，表面不易积聚静电，降低对精密工件造成影响。泵体上方设置进气与出气接口，进气端搭载过滤组件，可拦截气流内的微粒杂质；出气端同样配有过滤结构，避免排出气流带入污染物。正面设有供电接口与运行状态标识，底部带有固定孔位，方便固定在机架或者洁净台面上。隔膜腔体可以单独拆解，便于后期内部清洁与备件更换，管路接头为快接样式，拆装便捷，整机没有外露旋转部件，适配无尘室的布局要求。产品性能设备依靠电机带动连杆，驱动隔膜往复形变，改变腔体内容积，配合单向阀完成抽气作业，全程不使用润滑油脂，不会向外释放油雾。泵体运行震动幅度偏低，噪声控制较好，适合长时间连续运转；内部气路经过优化，气流脉动平缓，负压输出稳定。防静电壳体可以释放积累电荷，减少静电放电风险；进出气过滤器可以阻挡粉尘进入泵腔，同时避免泵内部碎屑反向进入制程管路。设备可持续维持稳定负压，启停响应迅速，能够配合自动化机构间歇吸取物料，对洁净度有要求的工况具备良好适配性。用材外壳采用防静电工程塑料；隔膜选用耐老化弹性材质；阀片为耐疲劳薄膜材料；接头为防腐塑料；过滤芯为高效滤材；紧固件选用不易析出微粒的材质；内部连杆做耐磨处理。参数表

表格

型号同系列该款为小流量规格，区分供电以及滤材选配版本，部分机型带有信号反馈接口，用于联动自动化设备。选型时确认所需负压、抽气流量以及现场供电条件，确认是否需要信号输出。用途无尘室内晶圆吸附搬运、光学元件吸取、洁净环境气体取样、实验室洁净负压供给、小型自动化洁净工位负压配套。包装硬质纸箱，内部配有缓冲护垫，接口加装防尘堵头，过滤器、说明书、原厂检测资料单独分装。使用说明设备安置在平稳位置，管路尽量短，减少管路阻力。接入电源之后空载试运行，确认无异常异响，再接入制程管路。定期检查进出气过滤器，出现堵塞及时更换，避免抽气能力下降。不要吸入含有大量腐蚀性气体或者大量粉尘的介质，如果介质存在腐蚀性，需要在前级增设适配预处理单元。长期停机前，通入洁净干燥空气吹扫内部气路，存放于洁净干燥环境。拆解维护时，在符合洁净要求的环境操作，避免外来杂质进入泵腔。