DK‑LOK URG 系列半导体 UHP 超高纯减压阀
DK‑LOK URG 系列半导体 UHP 超高纯减压阀DK‑LOK URG 系列 UHP 超高纯减压阀,专为半导体、面板特气系统开发。阀体 316L‑VAR 不锈钢,可选 EP 电解抛光内壁;哈氏合金 C‑22 膜片,氦质谱严格检漏。分为单级、双级减压结构,双级款可以大幅抑制入口压力衰减带来输出漂移。兼容惰性、腐蚀性特种气体,适配双卡套、面密封、焊接多种接口;可搭配 IGS 气体盘集成使用
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更新日期
2026-09-10 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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