Photolithography-RD 实验室小型光刻设备
Photolithography-RD 实验室小型光刻设备为高校、科研院所专用小型光刻成套设备,包含旋涂机、掩模对准曝光机、显影刻蚀配套装置。整机桌面式轻量化设计,无需大型无尘产线适配,可快速完成光刻胶匀胶、精密曝光、显影刻蚀全流程工艺。适配小尺寸样品至6英寸晶圆加工,支持硅、玻璃、化合物半导体基材微纳图形制备。操作简易、精度稳定,性价比高,是微纳器件、MEMS、半导体材料研发的核心实验设备
- 01
更新日期
2026-09-15 - 02
厂商性质
代理商 - 03
浏览量
153
18771980172

我的位置:
产品分类
相关文章
2026-10-15


地址:湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期3栋3层07号F394
邮箱:18771980172@163.com
联系人:郑经理
返回顶部