描述：韩国DK-LOK高压气动直通阀半导体级高纯
产地：韩国原厂原装制造（MADE IN KOREA）
类目归属：半导体产品 → 洁净隔膜阀系列（气动执行器款）
完整型号：PVBC
产品全称：半导体级高纯 Pneumatic Vacuum-Blowdown Clean 系列气动隔膜阀（核心为Pneumatic（气动）驱动的VBC基础隔膜阀产品）

韩国DK-LOK高压气动直通阀半导体级高纯

产地：韩国原厂原装制造（MADE IN KOREA）

类目归属：半导体产品 → 洁净隔膜阀系列（气动执行器款）

完整型号：PVBC

产品全称：半导体级高纯 Pneumatic Vacuum-Blowdown Clean 系列气动隔膜阀（核心为Pneumatic（气动）驱动的VBC基础隔膜阀产品）

韩国DK-LOK高压气动直通阀半导体级高纯

产品外观与结构详解

整体结构

产品由高纯不锈钢方体阀体与顶部气动执行器两大部分组成。

阀体：延续 DK-LOK 半导体阀体系列，采用一体精密锻造 316L 不锈钢方体结构，刚性强，抗高压形变。两端为双卡套（VCR）或外螺纹标准接口，适配半导体超高纯管路快速连接。

执行器：顶部为银色铝合金 / 不锈钢气动执行机构，表面做防指纹处理。顶面印有 ** 红色 “OPEN"（开）与蓝色 “CLO"（Close，Close 缩写）** 指示标识，指针指示阀门实时开关状态，视觉指示清晰。

内部核心结构

内部为隔膜式密封结构。气动执行器通过内部活塞组件，接收气信号后驱动阀杆下压或回弹，带动PCTFE 高纯隔膜上下运动，从而控制流道的通断。

无填料设计：无阀杆外露穿过腔体，从根源杜绝了普通球阀 / 针型阀因填料函导致的外泄漏与内污染风险。

低死区流道：流线型腔体设计，内部滞留体积极小，气体置换，不产生微颗粒。

四、工作原理

气动自力型控制阀门，通过外接压缩空气信号驱动：

开启动作：当通入开启气压（信号）时，执行器内部弹簧力或气压推力抬起阀芯，隔膜脱离阀座，管路导通，介质（特气）顺畅通过。

关闭动作：当关闭气压施加 / 断开气源时，执行器推杆下压隔膜，紧密压合阀座，管路精密关断，实现零泄漏阻断。

反馈指示：顶部指针随阀芯行程同步移动，可由 PLC / 传感器远程读取阀门开关位置（开到位 / 关到位 / 中间位），实现自动化闭环控制。

五、原厂完整技术参数

阀体材质：主体为316L 不锈钢，抗应力腐蚀、耐机械冲击，耐压强度。

洁净处理等级：全阀体EP 级电解抛光（Electro-Polished），内壁 Ra≤0.6μm。原厂经过超纯水清洗、氦检气密测试、百级洁净封装，半导体 **6N（99.9999%）** 及以上超高纯气体输送标准。

隔膜材质：采用PCTFE（三氟氯乙烯）或高纯 PTFE特种隔膜。耐绝大多数半导体腐蚀性气体（含氟蚀刻气、MO 源金属有机前驱体、氯气等），耐高低温，抗老化，密封寿命长。

压力等级：最高工作耐压 6000 psig (413 bar)，耐压能力覆盖半导体特气系统全工况。

工作温度：-40℃ ~ +200℃，适配低温液氮伴管、高温工艺炉等复杂环境。

接口形式：适配 **1/8"~ 1/2"** 半导体常用小口径管路。接口可兼容标准 VCR 接头或 DK-LOK 专属高纯外螺纹接头。

驱动气源：标准工业气源压力（通常 0.4~0.6MPa），兼容半导体工厂特气系统通用洁净气源。