描述：韩国DK-LOK半导体主气路控制阀
产品由强化型方体阀体+顶部全密封气动执行器两部分组成，通体 316L 不锈钢精密锻造一体结构，两端为标准高纯外螺纹直通接口，阀体本体激光刻印品牌、材质、洁净等级、产品溯源编号。

韩国DK-LOK半导体主气路控制阀整体结构

产品由强化型方体阀体+顶部全密封气动执行器两部分组成，通体 316L 不锈钢精密锻造一体结构，两端为标准高纯外螺纹直通接口，阀体本体激光刻印品牌、材质、洁净等级、产品溯源编号。

顶部气动执行器全封闭外壳，顶面印有 N.C.（Normal Close 常闭型） 状态标识，是半导体气路通用安全型气动阀默认规格，断电 / 断气源默认保持关闭，满足产线安全规范。

内部核心结构

内部为高纯软密封隔膜式阀芯结构，在基础 PVBC 阀体基础上，专属优化大口径流线型内腔流道，扩大有效流通通径；内部依旧为无填料函结构、无阀杆外露泄漏点，低死区腔体设计，无气体滞留死角。

内部隔膜、弹簧、密封件全部采用强化耐腐高纯材质，适配高危腐蚀性特种工艺气体。

韩国DK-LOK半导体主气路控制阀工作原理

气动驱动全自动控制阀门，无需人工现场操作，适配半导体自动化产线闭环控制：

常闭基准状态（N.C.）：无外接驱动气源时，执行器内部预紧弹簧推力下压隔膜，紧密贴合阀座，阀门默认关断，管路气密锁闭，从源头保障特气系统安全。

正向导通：通入标准驱动洁净气源，气压推力克服内部弹簧力，抬起隔膜阀芯，阀体大流通流道敞开，管路介质顺畅导通。

安全关断：断开驱动气源、气源泄压 / 产线紧急断电时，弹簧自动复位下压隔膜，阀门瞬间严密关断，自带ESD 紧急切断安全功能。

阀门开关全程无内泄、无外漏，机械结构稳定，开关行程一致性高，可适配 PLC 系统远程自动化控制、联锁保护。

五、原厂完整技术参数

阀体材质：一体精密锻造 316L 不锈钢，结构强度高，抗应力腐蚀、抗高压形变性能优异。

洁净处理等级：全阀体EP 级电解抛光，内壁粗糙度 Ra≤0.6μm，原厂超纯水洁净清洗、百级洁净车间组装、全流程氦检气密测试、真空洁净独立封装，半导体 6N（99.9999%）及以上超高纯气体输送标准。

隔膜密封材质：高纯 PCTFE（三氟氯乙烯） 特种隔膜，耐绝大多数半导体腐蚀性特气（含氟蚀刻气、MO 源金属有机前驱体、酸性工艺气体），耐高低温、抗老化，百万次启闭密封性能无衰减。

内部弹簧材质：Elgiloy 钴基合金耐腐蚀弹簧，弹力恒定无疲劳衰减，长期启闭动作稳定。

压力等级：最高工作耐压 6000 psig（413bar），覆盖半导体特气系统全高低压工况。

工作温度范围：-40℃ ~ +200℃，宽温域全场景适配。

核心升级（HF 高流量特性）：相比基础 PVBC，有效流通通径提升，内部流道阻力大幅降低，同等压差下气体流量显著提升，适合大流量工艺气路供气场景。

适配口径：覆盖半导体常用 1/4"、3/8"、1/2" 中大口径管路规格。

接口形式：标准高纯外螺纹接口，可直接转接 VCR 接头、双卡套接头、对焊管路，适配集成气柜、特气面板、机台主气路全场景对接。

驱动气源：半导体车间通用洁净干燥压缩空气，标准驱动压力 0.4~0.6MPa。