描述：韩国FEMTOSCIENCE台式真空等离子系统
本设备为韩国 FEMTO SCIENCE 品牌 COVANCE 型号台式真空等离子体处理系统，是原厂旗下升级款中型一体化等离子设备，定位高于入门级 CUTE 机型，专为中等样品量、多工艺场景科研实验与精密制程打造。

韩国FEMTOSCIENCE台式真空等离子系统

产品介绍

本设备为韩国 FEMTO SCIENCE 品牌 COVANCE 型号台式真空等离子体处理系统，是原厂旗下升级款中型一体化等离子设备，定位高于入门级 CUTE 机型，专为中等样品量、多工艺场景科研实验与精密制程打造。

整机集成大容积真空腔体、双频率大功率射频电源、大流量高精度气体控制系统、智能触控操作系统，采用成熟 PE 等离子发生工艺，腔体空间、功率上限、气路量程全面升级，兼顾稳定处理性能、宽泛工艺适配性与便捷桌面式使用体验，广泛应用于材料表面活化、精密器件清洗、微纳刻蚀、界面粘接改性、高分子材料改性等高校科研、微电子、半导体精密研发场景。

韩国FEMTOSCIENCE台式真空等离子系统产品核心特性

原厂原装升级机型

韩国 FEMTO SCIENCE 原厂正牌设备，同品牌台式等离子系列中端机型，工艺成熟稳定，设备品控与售后体系*。

大容积密闭真空腔体

腔体尺寸全面扩容，内部有效处理空间更大，可兼容更多品类、更大尺寸的待处理样品，密闭腔体等离子场分布均匀，处理一致性优秀。

双频大功率射频系统

搭载双频率射频发生模块，覆盖低频、高频双工作频段，功率上限最高可达 300W，功率输出稳定可调，可适配更多样化等离子工艺需求。

宽量程高精度气路控制

升级 MFC 质量流量控制器，最大气体流量可达 200sccm，流量控制精度高、调节范围广，可灵活适配多种工艺气体及配比方案。

便捷智能全集成操作

桌面式紧凑机身设计，无需大型场地；高清触控交互界面，流程可视化，支持手动参数调试、全自动程序运行双模式；配备*安全防护结构，样品取放、设备运维便捷简单。