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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国大功率台式真空等离子清洗机
产品介绍
本设备为韩国 FEMTO SCIENCE 品牌 COVANCE 型号台式真空等离子体处理系统,是原厂旗下升级款中型一体化等离子设备,定位高于入门级 CUTE 机型,专为中等样品量、多工艺场景科研实验与精密制程打造。
整机集成大容积真空腔体、双频率大功率射频电源、大流量高精度气体控制系统、智能触控操作系统,采用成熟 PE 等离子发生工艺,腔体空间、功率上限、气路量程全面升级,兼顾稳定处理性能、宽泛工艺适配性与便捷桌面式使用体验,广泛应用于材料表面活化、精密器件清洗、微纳刻蚀、界面粘接改性、高分子材料改性等高校科研、微电子、半导体精密研发场景。
韩国大功率台式真空等离子清洗机产品核心特性
原厂原装升级机型
韩国 FEMTO SCIENCE 原厂正牌设备,同品牌台式等离子系列中端机型,工艺成熟稳定,设备品控与售后体系*。
大容积密闭真空腔体
腔体尺寸全面扩容,内部有效处理空间更大,可兼容更多品类、更大尺寸的待处理样品,密闭腔体等离子场分布均匀,处理一致性优秀。
双频大功率射频系统
搭载双频率射频发生模块,覆盖低频、高频双工作频段,功率上限最高可达 300W,功率输出稳定可调,可适配更多样化等离子工艺需求。
宽量程高精度气路控制
升级 MFC 质量流量控制器,最大气体流量可达 200sccm,流量控制精度高、调节范围广,可灵活适配多种工艺气体及配比方案。
便捷智能全集成操作
桌面式紧凑机身设计,无需大型场地;高清触控交互界面,流程可视化,支持手动参数调试、全自动程序运行双模式;配备*安全防护结构,样品取放、设备运维便捷简单。
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