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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国FEMTOSCIENCE镀膜设备专用真空抽气泵
产品介绍
本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 LN-16 系列双级旋片式真空泵,是专为中等腔体真空处理设备设计的高效真空抽气设备,广泛应用于中号等离子清洗机、派瑞林镀膜机、中等尺寸真空腔体等设备的配套真空系统。
设备采用成熟的双级旋片式结构,在 50Hz 下抽速可达 14.49m³/hr,相比 LN-10 抽速提升约 46%,可更快将腔体抽至高真空状态,大幅缩短工艺准备时间;整机尺寸紧凑,重量仅 26kg,安装摆放灵活,适配中号工业设备与实验室中高抽速需求;泵体运行噪音低、振动小,对实验环境干扰小,同时注油量仅 1.1L,日常维护成本低。作为 FEMTOSCIENCE 原厂推荐的配套真空泵,与品牌旗下中号腔体等离子清洗、派瑞林镀膜等设备兼容性强,运行稳定可靠,可长时间连续运行,为各类真空工艺提供稳定的真空环境保障。广泛应用于半导体、微电子、高分子材料处理、科研实验室等场景,为中等腔体等离子清洗、真空镀膜、材料改性等工艺提供高效可靠的真空支持。
韩国FEMTOSCIENCE镀膜设备专用真空抽气泵产品核心特性
韩国原厂成熟旋片泵技术
源自韩国 FEMTOSCIENCE 专业真空设备品牌,双级旋片结构成熟稳定,极限真空高,抽气效率均匀,是工业与实验室场景高可靠性真空泵。
高效抽速,大幅缩短工艺时间
14.49m³/hr 抽速相比 LN-10 提升约 46%,可更快将中等腔体抽至高真空,大幅缩短等离子清洗、镀膜等工艺的准备时间,提升整体生产效率。
紧凑轻量化设计
整机尺寸 480×160×250mm,重量仅 26kg,安装摆放灵活,无需额外预留大型设备空间,是中号腔体设备与实验室中高抽速需求的理想配套泵。
低噪音、低振动运行
电机与泵体结构经过优化,运行噪音低、振动小,对实验室环境干扰小,适合对环境噪音敏感的科研与生产场景。
原厂设备配套兼容性强
专为 FEMTOSCIENCE 中号腔体等离子清洗、派瑞林镀膜等设备优化设计,兼容性强,可无缝对接品牌设备,为各类真空工艺提供稳定的真空环境保障。
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