描述：韩国 fMTK气动隔膜泵高洁净耐腐蚀
本产品为韩国 fMTK 品牌 PSA 系列无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于等离子清洗机、湿制程设备、药液循环系统。

韩国 fMTK气动隔膜泵高洁净耐腐蚀

产品介绍

本产品为韩国 fMTK 品牌 PSA 系列无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于等离子清洗机、湿制程设备、药液循环系统。

泵体采用无轴封全氟材质结构，杜绝介质泄漏与二次污染，可安全输送强酸、强碱、腐蚀性药液，适配半导体高洁净工艺标准；采用单一气源驱动设计，无需复杂的电力驱动系统，安装调试简单，适配小型实验室设备与产线改造；提供 PSA030（30LPM）、PSA060（60LPM）、PSA140（140LPM）三种流量规格，可根据工艺需求灵活选择，从小型实验到中批量产线均能适配；最高耐温 100℃、耐压 100PSI，可长时间连续运行，适配半导体产线高频次、长时间工况，是高洁净腐蚀性药液输送的理想设备。

韩国 fMTK气动隔膜泵高洁净耐腐蚀产品核心特性

无轴封零泄漏，保障高洁净工艺

无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液污染，符合半导体高洁净工艺标准，适配晶圆清洗、药液循环等敏感工艺。

全氟材质，强耐腐蚀

泵体采用耐腐蚀全氟材质，可安全输送强酸、强碱、腐蚀性药液，无材质老化、脱落风险，延长设备使用寿命。

单一气源驱动，安装维护便捷

单一气源设计，无需电力驱动，安装调试简单，维护成本低，适配无电力供应的危险环境与小型设备场景。

多流量规格，覆盖全场景需求

提供 30/60/140LPM 三种流量规格，可根据工艺需求灵活选型，从小型实验室到中批量产线均能适配。

工业级耐用性，适配量产工况

最高耐温 100℃、耐压 100PSI，泵体结构经过长期验证，可长时间连续运行，适配半导体产线高频次、长时间量产工况。