日本 Technomate 泰克诺梅特气动柱塞高压泵 SSBL-37.5A KLZ 工作原理

更新时间：2026-09-28

浏览次数：21

日本 Technomate SSBL-37.5A KLZ 属于空气驱动式柱塞高压泵，KLZ 代表配置 Kalrez 全氟密封件，适配纯水、IPA、NMP 等半导体常用工艺溶剂，多用于晶圆剥离工艺高压喷射供液。该泵以洁净压缩空气作为动力源，依靠大小活塞面积差实现流体增压，整机无电机结构，可应用在有防爆要求的生产环境。整套设备分为气动驱动单元、柱塞增压液力端、单向提升阀组、密封组件四个主要部分，依靠活塞往复直线运动完成介质吸入与高压排出。

日本 Technomate 泰克诺梅特气动柱塞高压泵 SSBL-37.5A KLZ 工作原理

泵的增压基础来自面积放大原理。驱动侧为大直径气动活塞，介质侧为小直径增压柱塞，二者刚性同轴连接，输入气压作用在大活塞上，推力同步传递至小柱塞。大小活塞有效作用面积比值决定固定增压倍率，调节前端输入压缩空气压力，就可以线性改变介质出口压力。在 0.5MPa 驱动气压条件下，SSBL-37.5A KLZ 最高输出压力可达 17.6MPa，输出流量随背压变化，属于容积式增压泵。

设备依靠内置气动换向阀自动完成往复循环，分为排液增压、吸液补液两个交替阶段。压缩空气通入驱动腔，推动大活塞向前行进，带动柱塞进入增压冲程，液缸内部容积减小，介质受到柱塞挤压，压力升高；入口提升阀受压差作用关闭，出口提升阀打开，高压介质向外输送。当活塞移动至行程末端，换向阀自动切换气路方向，压缩空气从另一侧进气，推动活塞与柱塞反向回退，液缸容积增大，内部形成负压；出口提升阀关闭，阻止高压介质回流，入口提升阀打开，原料罐内的介质在压差作用下进入液缸，完成吸液过程。活塞不断往复，循环持续自动进行，输出高压流体。

液力端采用提升阀结构，阀组动作稳定，运动部件不易产生金属碎屑，减少对高纯工艺介质的污染。KLZ 版本区别于标准 FKM 密封型号，接液部位采用 Kalrez 全氟密封件，耐强有机溶剂溶胀与腐蚀，延长在 NMP 等溶剂工况下的密封使用寿命。接液主体材质选用 SUS316 不锈钢，柱塞表面精密加工，配合低摩擦密封结构，降低柱塞往复运动带来的摩擦磨损，减少微颗粒产生，满足半导体洁净工艺的使用要求。

该泵属于自平衡压力结构，当出口压力达到与输入气压匹配的压力上，推力达到平衡，活塞会自动停止往复运动，不再持续输出流量，进入保压待机状态；当管路压力下降，压力平衡被打破，泵将自动重新启动往复，补充压力，具备自动保压功能，不需要额外溢流阀。驱动气源切断后，泵停止动作，压力不再继续上升，一定程度降低超压风险。

完整的工作流程为：接入洁净压缩空气与原料管路，确认进出口阀门状态；调节气源调压阀，设定驱动气压，间接控制目标输出压力；通气后泵自动往复，吸入工艺介质并增压向外输送；管路压力达到设定值，泵自动暂停，维持系统压力；当工艺端消耗介质，压力回落，泵再次启动补压。停机时关闭气源，泄压后再开展管路拆卸维护。

该泵依靠气动增压实现高压供液，输出压力由驱动气压决定，流量会随出口背压升高而下降。使用时需要控制气源洁净度，防止杂质进入气动换向阀造成动作异常。在半导体晶圆湿法处理、剥离清洗等工序中，用于稳定输送高压工艺液体，为高压喷射提供持续压力源。设备适合集成嵌入自动化设备内部，结构紧凑，无电气发热部件，适配洁净车间环境。

上一篇：松尾产业 Matsuo-Sangyo 涂布试验机工作原理
下一篇：日本 OKK 大宫工业 Myself-1 typeTⅡ-MB现场动平衡仪自动振动测量工作原理