描述：韩国fMTK半导体超高温药液输送隔膜泵
本产品为韩国 fMTK 品牌 PSU 系列超高温型无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、超高温、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于超高温湿制程设备、药液循环系统、等离子清洗机等设备。

韩国fMTK半导体超高温药液输送隔膜泵

产品介绍

本产品为韩国 fMTK 品牌 PSU 系列超高温型无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、超高温、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于超高温湿制程设备、药液循环系统、等离子清洗机等设备。

泵体采用耐高温耐腐蚀全氟材质 + 无轴封结构，最高工作温度可达 210℃，是同系列产品中耐温性能强的型号，可稳定输送超高温强酸、强碱、腐蚀性药液，同时杜绝介质泄漏与二次污染，适配半导体高洁净超高温工艺标准；配备 Syncro 同步控制技术，泵体运行更平稳，流量波动更小，适配对输送稳定性要求高的工艺场景；采用单一气源驱动设计，无需复杂的电力驱动系统，安装调试简单，适配小型实验室超高温设备与产线改造；提供 PSU030（30LPM）、PSU060（60LPM）、PSU140（140LPM）三种流量规格，可根据工艺需求灵活选择，从小型实验到中批量产线均能适配；可长时间连续运行，适配半导体产线高频次、长时间超高温工况，是高洁净超高温腐蚀性药液输送的理想设备。

韩国fMTK半导体超高温药液输送隔膜泵产品核心特性

210℃超高温耐温，适配高温工艺场景

最高工作温度可达 210℃，是该品牌系列中耐温性能强的型号，可稳定输送超高温腐蚀性药液，适配半导体湿制程、超高温药液循环等工艺需求。

无轴封零泄漏，保障高洁净工艺

无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液污染，符合半导体高洁净工艺标准，适配晶圆清洗、超高温药液循环等敏感工艺。

全氟材质，超高温强耐腐蚀

泵体采用耐高温耐腐蚀全氟材质，可安全输送超高温强酸、强碱、腐蚀性药液，无材质老化、脱落风险，延长设备使用寿命。

Syncro 同步控制，运行更稳定

配备 Syncro 同步控制技术，泵体运行更平稳，流量波动更小，适配对输送稳定性要求高的工艺场景，减少工艺波动对产品质量的影响。

多流量规格，覆盖全场景需求

提供 30/60/140LPM 三种流量规格，可根据工艺需求灵活选型，从小型实验室超高温工艺到中批量产线均能适配。