描述：韩国fMTK超高温改性全氟气动隔膜泵
本产品为韩国 fMTK 品牌 PXU 系列超高温型改性全氟无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、超高温、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于超高温高腐蚀性湿制程设备、药液循环系统、等离子清洗机等设备。

韩国fMTK超高温改性全氟气动隔膜泵

产品介绍

本产品为韩国 fMTK 品牌 PXU 系列超高温型改性全氟无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、超高温、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于超高温高腐蚀性湿制程设备、药液循环系统、等离子清洗机等设备。

泵体采用改性全氟材质 + 无轴封结构 + Syncro 同步控制，最高工作温度可达 210℃，可稳定输送超高温强酸、强碱、腐蚀性药液；改性全氟材质在保留强耐腐蚀性的同时，大幅提升了超高温工况下的耐磨损性能，减少长期运行的材质损耗；Syncro 同步控制技术使泵体运行更平稳，流量波动更小，适配对输送稳定性要求高的工艺场景；无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液二次污染， 适配半导体高洁净工艺标准；采用单一气源驱动设计，无需复杂的电力驱动系统，安装调试简单，适配小型实验室超高温设备与产线改造；提供 PXU030（30LPM）、PXU060（60LPM）、PXU140（140LPM）三种流量规格，可根据工艺需求灵活选择，从小型实验到中批量产线均能适配，是高洁净超高温腐蚀性药液输送的理想设备。

韩国fMTK超高温改性全氟气动隔膜泵产品核心特性

210℃超高温耐温，适配 高温腐蚀性工艺场景

最高工作温度可达 210℃ ，可稳定输送超高温强酸、强碱、腐蚀性药液，适配半导体湿制程、超高温药液循环等工艺需求。

改性全氟材质，超耐高温 + 耐腐蚀双重优化

泵体采用改性全氟材质，耐强酸、强碱、强腐蚀性药液，同时大幅提升了超高温工况下的耐磨损性能，延长设备使用寿命，适配长期超高温腐蚀性工况。

Syncro 同步控制，运行更稳定

配备 Syncro 同步控制技术，泵体运行更平稳，流量波动更小，适配对输送稳定性要求高的超高温工艺场景，减少工艺波动对产品质量的影响。

无轴封零泄漏，保障高洁净工艺

无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液污染， 符合半导体高洁净工艺标准，适配晶圆清洗、超高温腐蚀性药液循环等敏感工艺。

多流量规格，覆盖全场景需求

提供 30/60/140LPM 三种流量规格，可根据工艺需求灵活选型，从小型实验室超高温腐蚀性工艺到中批量产线均能适配。