描述：日本荏原実業机架式臭氧气体监测系统
制药行业：无菌车间臭氧灭菌浓度监控、HVAC 系统臭氧泄漏检测、洁净室环境安全监测（符合 GMP）、制药废水臭氧氧化工艺浓度控制。

日本荏原実業机架式臭氧气体监测系统

七大核心产品优势

1. 标准机架式模块化设计，无缝集成工业自动化

19 英寸标准 2U 机架式， 适配工业控制柜、中央控制室标准机柜；模块化结构支持快速安装、拆卸与维护，单人 3 分钟完成机架固定；前后端分离式接口设计，气路 / 电路分区清晰，布线整洁、故障排查高效，是工业系统集成的标准化 。

2.  光源异常补偿，长期高精度免维护

搭载荏原 光源异常检测与补偿技术，实时监测光源光量衰减，自动修正测量误差，光源寿命延长 50%；

内置自动零点校正：定时切换零气与样气，自动消除漂移，2 年免手动校准；

纯光学测量无消耗品，正常工况每年仅需清洁 1 次光学窗口，维护时间＜30 分钟，5 年免大修，大幅降低长期运营成本。

3. 6 位超高分辨率，ppb 级精准测量

搭载荏原  ΔΣ 高精度演算芯片，信噪比行 ：

最高 6 位分辨率（0.0001ppm），ppb 级浓度精准识别；

测量精度 ±1.0% FS、重复性 ±0.5% FS，数据稳定性远超行业标准；

精准满足半导体超纯水系统、制药无菌车间等 场景的微量臭氧浓度控制需求，杜绝微污染风险。

4. 强抗干扰 + 宽适应，严苛环境稳定运行

抗交叉干扰：不受氧气、氮气、二氧化碳、湿度及常见工业气体干扰，测量数据真实可靠；

宽温宽压适配：样气温度 5～45℃、环境温度 0～50℃，适配洁净室、高湿车间、户外机柜、高温机房等严苛环境；

电磁兼容性强：通过工业级 EMC 测试，抗电磁干扰，稳定运行于变频器、电机等强电磁设备附近。

5. 丰富信号输出，无缝对接工业物联网

标配隔离型 4～20mA模拟信号，直接接入 PLC/DCS，实现工艺闭环控制；

标配RS-485 Modbus RTU通讯，可选以太网，支持远程监控、数据记录与溯源，适配工业物联网（IIoT）；

双路浓度报警 + 故障报警继电器输出，联动排风扇、臭氧发生器急停、声光报警器，超标时自动启动安全防护，保障人员与设备安全。

6. 内置数据记录，合规溯源无忧

内置大容量存储器，自动记录历史浓度数据、报警记录、校准记录，数据可保存 1 年以上；

支持USB 导出数据，适配制药 GMP、半导体 SEMI 等行业合规审计与质量追溯需求；

实时显示光源寿命、设备运行状态，提前预警维护，避免意外停机。

7. 紧凑型轻量化，安装部署高效便捷

体积小巧（480×88×350mm）、重量轻（8.5kg），单人即可完成安装；

标准机架孔位，机柜直接固定，无需复杂支架；

气路接口（1/4" 标准接头）即插即用，10 分钟完成气路连接，部署高效便捷。

日本荏原実業机架式臭氧气体监测系统典型应用场景

半导体行业：超纯水系统臭氧尾气监测、晶圆清洗车间环境臭氧安全监控、臭氧灭菌室浓度管理、半导体工艺废气排放监测。

制药行业：无菌车间臭氧灭菌浓度监控、HVAC 系统臭氧泄漏检测、洁净室环境安全监测（符合 GMP）、制药废水臭氧氧化工艺浓度控制。

水处理行业：大型臭氧发生器出口浓度监测、污水处理 AOP 工艺尾气排放监控、中水回用系统臭氧泄漏检测、自来水厂臭氧消毒浓度控制。

精密制造 / 实验室：光学元件清洗臭氧环境监控、实验室臭氧反应装置浓度分析、科研实验气体浓度精准测量、高校 / 科研机构臭氧工艺研究。

食品饮料：大型车间臭氧杀菌浓度控制、冷库 / 保鲜库臭氧浓度监控、CIP 清洗系统臭氧尾气检测、食品加工设备灭菌浓度管理。