描述：德国莱宝工业级超高真空设备真空泵
整机德国制造，通过 UL 61010、Semi S2、TÜV 防超速认证；主动磁悬浮平衡 + 转子冲击测试，抗振动、抗电磁干扰，故障率极低。

德国莱宝工业级超高真空设备真空泵

五大核心产品优势

1. 全磁悬浮无油，超高洁净 + 超长寿命

五轴主动磁悬浮，转子零接触、无油润滑，无油污染，满足半导体、OLED、生物医疗的高洁净 UHV 要求；免维护周期 80,000 小时，无轴承磨损，大幅降低停机与运维成本。

2. 1500 L/s 大抽速 + 0.8 mbar 前级耐压，高效稳定

1500 L/s 氮气抽速，匹配中大型腔室；0.8 mbar 高前级耐压，可直接配干式前级泵，简化系统、降低成本，24/7 连续运行稳定。

3. CT 版强耐腐蚀，适配严苛工艺

KAR 涂层 + 不锈钢腔体，耐受 Cl₂、F₂、等离子体与微量粉尘；轴承吹扫气接口阻断腐蚀气体侵入，适配刻蚀、PECVD、溅射等含尘 / 腐蚀工业制程。

4. 集成驱动 + 任意角度安装，易集成省空间

泵体集成变频器，无外置控制器，节省机柜空间；0°–360° 任意安装，适配复杂管路；智能监控转速 / 温度 / 振动，支持 PLC 远程运维。

5. 德国原装 + 全链路安全，工业级可靠

整机德国制造，通过 UL 61010、Semi S2、TÜV 防超速认证；主动磁悬浮平衡 + 转子冲击测试，抗振动、抗电磁干扰，故障率极低。

德国莱宝工业级超高真空设备真空泵典型应用场景

半导体：刻蚀（Etch）、PECVD、ALD、离子注入、晶圆检测（中大型腔室）

工业镀膜：光学镀膜、FPD、光伏、卷对卷（R2R）镀膜线

科研 / 制造：空间模拟舱、表面科学 UHV 系统、真空热处理、检漏设备

腐蚀性制程：卤素刻蚀、等离子体处理、化工真空系统