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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION美国Pivotal Systems热式气体流量控制器
Pivotal Systems GFC-T 是美国 Pivotal Systems 推出的传统热式原理气体流量控制器(MFC),专为对成本敏感、工况稳定的工业场景设计,基于成熟的热传导测量技术,是半导体制造、工业制程中广泛应用的经典流量控制方案。
美国Pivotal Systems热式气体流量控制器
五大核心产品优势
1. 成熟热式技术,成本可控稳定可靠
采用行业通用的热式流量测量原理,技术成熟、成本适中,适配对预算敏感、工况稳定的生产场景,是传统半导体产线中应用流量控制方案之一。
2. 宽流量覆盖,适配中小流量工艺
流量范围覆盖 0.025~2000 sccm,可满足大部分中小流量工艺需求,如半导体刻蚀、沉积中的辅助气体、吹扫气控制,以及实验室科研、工业制程中的常规气体配比。
3. 标准化设计,兼容性强易集成
采用行业标准的外形尺寸、接口定义和通讯协议,可直接替换传统品牌热式 MFC,无需对设备进行大规模改造,降低系统升级和维护成本。
4. 工业级耐用性,适配常规生产环境
专为工业生产环境设计,具备抗振动、抗电磁干扰能力,可在常规半导体车间、工业厂房环境中连续稳定运行,满足 24/7 生产需求。
5. 全流程支持,维护成本低
提供标准化的校准服务和技术支持,可通过定期零点校准维持精度;备件通用性强,维护成本可控,适合长期批量使用。
典型应用场景
半导体制造:常规刻蚀、沉积工艺中的辅助气体、保护气流量控制。
工业制程:精密热处理、涂层设备、气体分析仪器的常规流量控制。
实验室科研:气体配比、等离子体研究、真空工艺系统的流量调节。
通用工业场景:食品包装、化工过程控制中的惰性气体流量监控。
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