描述：韩国 INNODIS QDR 耐腐蚀气动止回阀
INNODIS QDR 系列是专为高纯腐蚀介质设计的气动驱动 + 单向密封止回阀，结合 PFA 全氟材质与气动辅助复位，在半导体、化工药液管路中实现可靠防回流、防虹吸、防水锤，兼容自动化联锁控制，是高纯流体系统安全防护的关键阀件。

韩国 INNODIS QDR 耐腐蚀气动止回阀 

INNODIS QDR 系列是专为高纯腐蚀介质设计的气动驱动 + 单向密封止回阀，结合 PFA 全氟材质与气动辅助复位，在半导体、化工药液管路中实现可靠防回流、防虹吸、防水锤，兼容自动化联锁控制，是高纯流体系统安全防护的关键阀件。

韩国 INNODIS QDR 耐腐蚀气动止回阀 

 核心产品优势

PFA 通体耐腐，高纯低析出

阀体、阀瓣、密封件均为高纯 PFA，耐受、强酸强碱、臭氧、有机溶剂等强腐蚀介质；材质低溶出、低吸附、无颗粒释放，符合半导体超净制程与高纯度化学品输送要求。

气动辅助单向密封，零泄漏防回流

采用气动复位 + 介质自驱双重密封机制：正向介质压力开启，反向时气动弹簧 + 介质背压双向压紧密封面，零泄漏阻断回流；内置 Mega Lock 密封结构，密封力均匀、抗疲劳，长期运行无滴漏。

自动防回流 + 自动化兼容，安全联锁

无需人工干预，介质流向自动启闭，防止泵反转、介质倒灌与交叉污染；气动执行机构可接入 PLC 系统，实现远程监控、报警联锁，适配半导体 Fab 与化工自动化产线。

高洁净，易清洗免维护

流路直通无滞留、死区极小，内壁光滑不易结垢结晶，适配 CIP 在位清洗；无填料、无外漏，长期免维护，降低高纯系统污染风险与运维成本。

工况适配广，结构紧凑易安装

工作温度 -20～180℃，工作压力 0～0.6MPa，兼容冷热交替与中高压药液管路；紧凑型设计，标准入珠 / 法兰接口，安装空间小、拆装便捷。

 典型应用场景

半导体湿法制程（核心）

晶圆蚀刻 / 清洗 / 剥离设备：HF、HCl、NaOH、氨水等腐蚀药液管路防回流、防虹吸。

集中化学品供给系统：支路切断与防倒灌保护，避免不同药液交叉污染。

超纯水（UPW）与臭氧水回路：防水锤、防倒流，保障高纯水质稳定。

化工精细流体输送

精细化工反应釜 / 储罐出口：高纯试剂、催化剂、强氧化介质防回流，保护设备与制程安全。

酸碱废液 / 废气洗涤塔管路：腐蚀废液单向隔离，防止倒灌污染上游系统。

光电 / 光伏行业

显示面板 / 光伏电池片湿制程：腐蚀液、清洗液、剥离液管路防倒流，保障制程一致性与良率。

高纯水与制药辅助系统

制药注射用水（WFI）、纯蒸汽回路：无菌防回流，符合 GMP 与 FDA 认证要求。

实验室高纯试剂管路：取样 / 旁路防倒流，防止污染试剂源。