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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国 INNODIS高压手动阀半导体隔膜阀
一、产品概述
韩国 INNODIS 一诺迪思 PFA 高压手动隔膜阀,搭载原厂Mega Lock 密封结构,专为半导体、光电、新能源等高纯腐蚀性流体工况打造。通体高纯 PFA 材质,耐强腐蚀、低析出、高洁净,兼顾高压耐受性能与手动精准调节,密封稳定,是高纯化学品、特殊药液输送切断的理想手动控制阀门。
二、核心产品优势
高纯 PFA 全域耐腐,适配严苛药液
阀体、隔膜、过流部件一体式高纯 PFA 材质,可长期耐受、强酸强碱、臭氧、有机溶剂等强腐蚀介质,材质稳定不析出、不吸附,满足半导体高纯净制程要求。
Mega Lock 密封,高压不漏液
采用 INNODIS 经典 Mega Lock 锁紧密封结构,密封咬合紧密均匀,强化高压承压能力,有效杜绝渗漏、滴漏与负压回流;隔膜耐疲劳抗形变,长期开关使用密封性能稳定。
高压强化结构,工况适配更广
针对高压管路优化阀体结构,相较于普通 PFA 阀门,承压性能更强,可满足中高压药液输送、增压回路、集中化学品供给等高压力使用场景,运行稳定不变形。
抑制颗粒污染
内壁光滑均质、流路极简无残留,死区面积小,不易堆积药液杂质与结晶,易清洗、无交叉污染,符合半导体超净环境使用标准,保障制程良率。
手动精准操控,安装维护简便
手动旋钮开关设计,启闭手感顺滑、调节精准,可快速切断或导通管路;结构紧凑轻巧,标配标准化管路接口,拆装便捷,后期维护与配件更换简单省心。
三、韩国 INNODIS高压手动阀半导体隔膜阀典型应用场景
半导体湿法制程
晶圆蚀刻、清洗、剥离设备管路,各类强酸强碱腐蚀性药液的手动切断、检修隔离、支路管控。
高纯化学品输送系统
半导体集中供液、药液分配单元、试剂储存回路,高压腐蚀性流体手动开关与管路隔离。
面板与光伏行业
显示面板、光伏电池片湿法制程,腐蚀药液、清洗溶剂、臭氧水路的手动控制与设备维护断流。
精密化工与实验室
特种腐蚀试剂、高纯溶剂、强氧化介质的取样管控、设备旁路手动阀门控制。
废水废气处理系统
酸碱腐蚀废液管路、废气洗涤塔药剂管路,高压工况下的手动截止与安全隔离。
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