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日本E-TAISE 摇杆式真空机械手 机械设备

描述：日本E-TAISE 摇杆式真空机械手 机械设备。整机依靠单一操纵摇杆同步控制 X 横向、Y 纵向、Z 升降三个方向移动，本体集成内置气路结构，外接负压气源后搭配吸嘴实现真空吸附取料。S 型号为短行程紧凑款，台面占用空间小；L 型号加长三轴行程，能够伸入真空腔体、炉体内部作业，设备无电机电控，只需要配套真空气源即可运行，大量配套真空回流炉、探针台、光学检测设备用于试样小批量手动上下料。

  • 产品型号：TM-S/TM-L
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-06-05
  • 访问量：25
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本E-TAISE 摇杆式真空机械手 机械设备

一、两款机型规格区分

  1. TM‑S（标准小型款）

    三轴有效行程短，机身尺寸小巧，适配显微镜台面、小型测试平台、桌面工位，多用于近距离芯片、小片晶圆、薄玻璃片的拾取与位置微调，狭小空间作业优势明显。

  2. TM‑L（加长行程款）

    XYZ 三轴全部加长行程，悬臂伸出距离更长，可穿过腔体法兰孔伸入真空炉、密闭工艺腔体内部取放工件，是真空回流设备、密闭工艺腔配套专用机型。

二、内部工作原理

手握一体式万向操纵摇杆，通过内部精密丝杆与直线导轨传动结构，将摇杆动作转化为末端吸头三轴位移；机身内部预埋一体式气路通道，侧边预留标准真空快插接头，外接真空发生器与调压阀，负压顺着内置管路直达前端吸嘴，靠负压吸附工件，切断真空气压工件自然落下；搭配微调阻尼结构，轻动摇杆即可实现微量点位校准。

日本E-TAISE 摇杆式真空机械手 机械设备

三、产品核心特点

  1. 单手单摇杆全轴操控，不用分别调节三轴旋钮，操作人员上手快，大幅度提升试样对位效率。

  2. 全密闭集成气路，气管不外漏散乱，无尘车间使用不易积尘，满足半导体洁净制程环境要求。

  3. 阻尼可调精密传动，移动顺滑无间隙卡顿，微量微调不易磕碰易碎硅片、陶瓷元件。

  4. 通用固定底座，底座预留安装螺孔，可锁紧在工作台、炉体法兰、探针台基座上，作业时机身稳固不偏移。

  5. 无电气零部件，纯机械 + 气路结构，防爆防潮，在高温设备周边、惰性氮气腔体环境均可安全使用。

  6. 吸嘴灵活选配，前端可换装 PU、硅胶、氟塑多种规格吸嘴，适配厚薄不一的晶圆、镜片、微型元器件。

  7. 气源压力可控，搭配调压阀自由调节吸附吸力，薄型工件不会因吸力过大发生形变破损。

四、适用应用场景

  1. 半导体研发：裸芯片、切割后小片晶圆手动摆盘、从真空回流炉取放焊接试样；

  2. 光电光学：光学镜片、滤光片、陶瓷基片显微镜上料与位置微调；

  3. 检测工位：探针台手动上下待测元器件，微调器件至测试点位；

  4. 真空设备配套：TRF 系列真空回流炉腔体内部工件取出料，密闭腔体不方便自动机构的小试生产；

  5. 实验室研发：新材料试样、小型封装元器件拆装返修。


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