描述：日本jascoint 循环式图像粒度分布分析仪
CF-3000 是日本 JASCOINT（日本分光旗下工业流体检测系列）推出循环流通式图像粒度分布分析仪，采用密闭自动循环取样 + 显微图像识别技术，专门针对半导体、光伏、锂电行业高洁净药液、抛光浆料、超纯水内部微小颗粒杂质做定量、形貌、粒径一体化检测。

核心参数

1. 检测原理：高速显微图像识别法，循环流通式密闭取样

2. 可测颗粒粒径范围：1μm～100μm，多档粒度自动分级统计

3. 流体适配粘度：0.1～50mm²/s，纯水、抛光膏、化学药剂通用

4. 介质耐受温度：10～120℃

5. 管路接液材质：一体成型高纯 PFA，无金属析出、无滞留死角

6. 取样方式：全自动密闭内循环，无需人工开盖取样

7. 清洗功能：内置纯水 / 专用溶剂自动循环清洗回路

8. 操作终端：一体式彩色触控屏，全流程自动程序控制

9. 数据输出：本地存储粒度报告、USB 导出、4-20mA 颗粒超限报警信号

10. 单次循环检测时长：30～300s 程序可调

11. 防护等级：整机 IP54，适配洁净车间环境

12. 供电规格：AC100V 50/60Hz

13. 同系列区分

    CF-3000 标准通用款：半导体常规药液、抛光液离线 / 在线两用；

    CF-3000-H 高温强化款：介质最高耐温 160℃，高温腐蚀药剂专用；

    CF-2000 基础小型款：仅离线取样，无在线循环功能，实验室简易检测。

产品核心优势

1. 密闭循环无敞开取样设计，杜绝外界粉尘混入干扰检测结果，匹配半导体超高洁净制程管控要求。

2. 图像法同步采集颗粒粒径 + 形貌，区别单纯光阻颗粒计数器，可区分杂质、团聚粉体、气泡，数据判定更精准。

3. 全 PFA 耐腐蚀流道，无金属接触、无密封死角，强酸、强碱、高温抛光浆料长期使用无离子析出污染样品。

4. 自带全自动管路清洗程序，不同批次药液检测自动冲洗管路，消除样品交叉污染，平行实验重复性高。

5. 一机两用，既可离线取样做实验室研发对比，也可直接串联产线管路实现 24 小时不间断在线颗粒监测。

6. 宽粘度、宽温域适配，低粘度超纯水到高粘稠 CMP 抛光膏一支设备通用，覆盖多条产线药液检测需求。

7. 自动分级统计粒度分布，触控屏一键导出标准化检测报告，无需人工计算，便于工艺追溯与质检归档。

8. 颗粒超限报警功能，管路杂质超标时输出开关信号联动产线停机，提前规避晶圆划伤、成品不良风险。

适用场景

1. 半导体制造行业：CMP 抛光液颗粒杂质分级检测，蚀刻、清洗高温酸碱药液微量颗粒计数，晶圆制程超纯水洁净度管控。

2. 光伏电池片产线：制绒、清洗高纯水路循环颗粒监测，光伏浆料粒径分布研发质检。

3. 锂电池生产车间：电解液、清洗药剂内部杂质颗粒在线追踪，保障电芯良品率。

4. 精密清洗设备厂商：工业精密零件循环清洗液杂质标准化检测。

5. 新材料研发实验室：纳米浆料、高分子分散液颗粒形貌与粒径对比试验。

6. 精细化工研发：高粘度抛光膏、化学助剂杂质粒度配方优化测试。

7. 第三方洁净流体检测机构：半导体、光伏药液颗粒杂质合规送检分析。

8. 高校材料、化工院系教学：液体分散体系颗粒分布、杂质检测教学实验设备。