描述：日本toel 晶体 冷阴极一体化组合真空计
CC-10 是日本 TOEL 东京电子推出的一体式组合真空监测主机，集成晶体传感与冷阴极双类检测单元，解决单一种类真空规量程狭窄、无法覆盖大气到超高真空全区间的行业痛点。设备内置双传感自动切换逻辑，常压区间依靠晶体规稳定检测，高真空区间自动切换冷阴极传感，全程不间断连续采集腔体真空压力。

基础核心参数

1. 检测传感体系：晶体规 + 冷阴极规双传感复合结构，区间自动切换

2. 完整测量区间：覆盖常压大气至高真空区间，全量程无间断采集

3. 控制点位功能：内置三组独立可自定义压力阈值输出点位

4. 信号输出：对数式模拟电压输出，配套标准数字通讯接口

5. 安装接口：标配 NW25 标准真空法兰，可按需更换适配法兰规格

6. 供电规格：直流宽压供电，整机低功耗稳定持续运行

7. 机身结构：一体化紧凑型金属机身，前置数字显示操作面板

8. 合规认证：满足 RoHS 环保标准、CE 安全规范，计量可溯源校准

9. 适配工况：常温无尘真空腔体、半导体镀膜、材料热处理真空设备

10. 拓展配套：可联动真空分子泵、闸阀、加热电源实现全自动工序

适用检测场景

1. 半导体晶圆薄膜镀膜腔体真空压力常态化闭环管控

   镀膜全过程连续监测真空度，多阈值联动分子泵、工艺气阀，自动匹配抽气、沉积、泄压工序，稳定薄膜均匀度与晶圆成品良率。

2. 金属材料溅射、离子清洗设备高真空工艺时序采集

   完整记录溅射全过程真空变化曲线，量化真空波动对镀层附着力、晶粒结构的影响，优化溅射工艺参数。

3. 高校材料科研高真空热处理、气相沉积实验真空监测

   科研腔体全区间真空实时读数，长期离线存储实验真空时序数据，支撑新材料烧结、薄膜生长课题对比试验。

4. 工业真空炉、真空钎焊设备自动化工序联动控制

   依据设定真空阈值自动切换加热、充气、冷却流程，无需人工值守操作，统一批量热处理工件工艺标准。

5. 第三方真空镀膜工艺公证计量验收检测

   整套双传感宽量程真空监测体系匹配半导体、材料真空工艺通用规范，完整时序真空台账可用于镀膜工件出厂贸易结算、真空车间资质年审公证审核。

6. 真空设备制造、材料专业教学实训真空监测设备

   演示大气至高真空全自动切换、多阈值联动控制完整操作流程，用于真空工艺、薄膜制备课程实操教学与课题数据采集。

7. 光学镜片、功能涂层连续式镀膜产线批量真空巡检

   多台镀膜腔体统一配套 CC-10，上位机集中归集全线真空数据，实时排查腔体泄漏、泵组性能衰减故障。

8. 小型实验室台式真空设备改造升级真空监测单元

   标准 NW25 法兰可直接替换老旧分体真空规，低成本完成小型实验真空设备数字化、自动化改造，无需重新加工腔体开孔。