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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本大塚电子OTSUKA 多通道高速分光光谱仪
测量原理:多通道阵列分光干涉检测,全息光栅分光架构
核心机型:MCPD-9800 旗舰、MCPD-7700 高感、MCPD-6800 通用标准型
感光阵列:512ch/1024ch 电子制冷光电二极管阵列
波长区间:220~1000nm 多规格光栅模块自由选配
曝光采集:最短 5ms 高速扫描,最长 65s 长曝光弱光采集
光纤配件:标配 2 米耐弯折石英光纤,φ12 标准通用接头
通讯端口:USB、LAN 双接口,支持电脑远程控制与数据上传
供电规格:单相 AC100~240V 宽幅工业电源,整机功耗 125VA
机身尺寸:105×230×280mm,整机重量约 6kg,体积较前代缩小 60%
核心运算:内置杂散光校正、膜厚专用分光干涉解析算法
拓展适配:可对接显微镜、积分球、多点光纤切换器、真空光路组件
可测参数:透射率、吸光度、反射光谱、发光光谱、色度、薄膜厚度、荧光强度
全系列多机型、多波长光栅模块化选配,可根据紫外、可见光、近红外不同检测需求自由搭配光路配置
电子制冷阵列感光元件,有效降低暗电流噪声,弱光荧光、微量紫外检测信噪比优异,测量重复性稳定
最短 5ms 全光谱同步采集,满足高速流水线工件实时在线监测,适配半导体 CMP 研磨终点实时判定
内置杂散光校正功能,大幅降低紫外区间测量干扰,提升薄膜、微量溶液光谱检测精准度
柔性分体光纤光路设计,主机与检测探头分离布设,可嵌入真空腔体、高温设备、狭小机台内部完成取样
USB+LAN 双路数据通讯,单机可直连电脑,多台设备可组网集中管控,产线远程自动化控制便捷
配套全功能光谱分析软件,集成色度运算、膜厚拟合、发光光谱解析、批量数据导出报表功能
宽区间可调曝光时长,兼顾高速产线快速检测与微弱荧光、低透光样品长积分精准测量
立式紧凑轻量化机身,台面、电控机柜两种安装形态,不占用设备大量布局空间
整机原厂出厂统一光谱精度标定,检测数据符合日本 JIS 光学行业标准,支持 JCSS 溯源校准认证
半导体晶圆制程,氧化膜、氮化膜、光刻胶薄膜厚度在线测量,CMP 研磨终点实时监测
光学镀膜、镜片加工厂,AR 减反膜、滤光片透射反射光谱、镀层均匀度质检
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