日本大塚电子OTSUKA SM-100 系列便携高精度膜厚计简介

更新时间：2026-06-10

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SM-100 系列是日本大塚电子推出的手持款光谱膜厚仪，凭借无损检测、精度高、上手简单的特点，深受实验室和生产现场认可，专门用来检测各类薄膜、涂层厚度，光学、半导体、光伏行业日常质检、研发巡检都在用。

一、技术规格

测量原理：白光反射分光干涉法，非接触式检测

区分型号：SM-100S 标准版、SM-100P 专业版

测量范围：SM-100S 单层 1~50μm；SM-100P 单层 0.1~100μm，最多可测 3 层薄膜

重复精度：可达 0.01μm，测量数据稳定

光斑尺寸：直径≤1mm，狭小区域也能精准测量

单次测量时长：1 秒快速出结果

测头设计：支持 270° 旋转，多角度测量更灵活

整机重量：约 1.1kg，手持操作方便

续航能力：满电可连续使用 4 小时以上

数据功能：自带存储，USB 接口可导出数据存档

内置材料折射率数据库，常规材料直接选用

仪器发出白光照射在样品表面，基底与薄膜会分别反射光线，设备通过分析光线干涉后的光谱信号，自动计算出薄膜的实际厚度。整个过程不用接触工件，不会刮伤表面、造成污染，高价值样品也能放心检测。

全程非接触测量，不像接触式测厚工具容易划伤镀层、薄膜，晶圆、光学镜片、柔性材料这类娇贵工件，检测起来不用担心损伤。

仪器本身重复测量误差很小，不管是车间批量抽检，还是实验室做研发实验，数值都稳定可靠，日常品质管控、数据对标都能满足要求。

玻璃、金属、塑料、半导体基材都能正常测量，不用频繁更换探头、反复校准，切换不同样品检测也很省事。专业款还能解析多层涂层，应对复杂镀膜产品毫无压力。

机身轻巧，走到哪测到哪，产线工位、质检室、研发实验室都能摆放使用。可旋转测头设计，面对异形工件、边角位置也能轻松对准测量点。

开机就能使用，不用复杂调试，新手简单熟悉后即可上手。一秒出读数，大批量检测也能保证效率，检测数据还能导出电脑整理报表，台账记录很方便。

平时注意保护测量镜头，有灰尘污渍用无尘布搭配无水乙醇轻轻擦拭即可。避免硬物磕碰镜头与机身，长期闲置时放在干燥避光环境，定期补充电量。建议每年使用标准试片做一次精度校验，长久保障测量准确度。

大塚电子 SM-100 系列是实用性很强的便携膜厚检测仪，兼顾高精度、无损测量与移动作业的需求。标准版适合常规单层薄膜批量检测，专业款可应对多层复杂涂层，功能划分清晰。设备耐用、操作简单，是薄膜涂层厚度检测环节里，口碑和实用性都在线的主流机型。