EV‑140C日本堀场horiba 等离子体发射光谱监测仪
日本堀场horiba 等离子体发射光谱监测仪
日本 HORIBA 堀场 EV‑140C 蚀刻终点在线监测光谱仪,面向半导体干法刻蚀工艺开发的等离子体发射光谱实时监测设备。设备通过采集刻蚀腔体内等离子体特征发射光谱,实时追踪特定元素谱线强度变化,以此精准判定刻蚀终点,避免过刻或欠刻造成的产品不良。整机采用多通道光学检测架构,可同时监测多条特征波长,配套专用分析软件,支持光谱曲线实时显示。
- 01
更新日期
2026-08-28 - 02
厂商性质
代理商 - 03
浏览量
106
18771980172

我的位置:
产品分类
相关文章
2026-08-18





地址:湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期3栋3层07号F394
邮箱:18771980172@163.com
联系人:李经理
返回顶部