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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本东丽TORAY 氧化锆氧气浓度分析仪
工作原理:氧化锆浓差电池原理,依据能斯特方程,通过氧气分压差换算气体氧浓度;设备存储量程配方、监测记录,导出报表用于气氛工艺复盘。
型号:LC-450A
测量原理:氧化锆浓差电池式
采样方式:内置隔膜泵连续抽吸采样
测量范围:0.1ppm~100vol% O₂
量程模式:自动量程 / 4 档手动量程切换
显示规格:4 位数字显示屏
信号输出:4~20mA 模拟输出、RS232C 数字通讯、3 路继电器报警触点
自检功能:传感器异常、加热器故障、气路异常自诊断提示
供电规格:AC100~240V 宽电压输入
安装形式:台式 / 面板嵌入式两用
使用环境:5~40℃,湿度 20~80% RH 无凝露,烧结炉、真空热处理、半导体气氛制程工位
一体式内置气泵,持续抽取样气,无需额外配置外置气源输送装置。
单台仪器覆盖微量氧至高浓度氧气检测,满足多种气氛工艺使用需求。
专用涂层氧化锆传感器,耐受长期高温工况,延缓元件老化,降低运维频次。
自动量程切换功能,工艺气氛波动时无需人工更改档位,保障持续监测。
多路报警触点输出,可联动进气阀门、炉体报警装置,及时处置氧含量超标风险。
同时搭载模拟量与串口数字通讯,轻松接入自动化产线上位系统。
面板嵌入与台式两种安装方式,适配独立监测工位与整机设备集成。
内置多重故障诊断,快速识别传感器、加热回路、气路堵塞等异常状况。
机身深度优化,占用空间更小,便于紧凑设备内部安装布局。
完整热处理台账留存,氧含量监测与校准记录可回溯,气氛烧结项目验收可直接调取管控记录。
锂电制造行业:负极材料烧结炉、预烧设备保护气氛氧含量监控。
半导体工位:晶圆退火、封装热处理、惰性气体腔体微量氧监测。
电子陶瓷领域:MLCC、压电陶瓷烧结炉氮气 / 氩气气氛管控。
金属热处理:真空炉、钎焊炉、粉末冶金烧结气氛在线检测。
特种气体行业:氩气、氮气等惰性气体纯度在线氧含量分析。
工艺研发实验室,气氛热处理配套氧浓度监测设备。
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