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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本东渡TV 半导体药液管路切断阀
型号:PS‑65A‑NP、PS‑20A‑SCS13
设备类型:SCS13 不锈钢耐腐蚀工艺切断阀门
阀体材质:SCS13 不锈钢
接口形式:螺纹连接
适用介质:超纯水、工艺水、弱酸弱碱药液、部分有机溶剂;不适合强氧化性浓腐蚀介质
允许使用压力:依据规格 0‑1.0MPa
使用温度:0‑80℃,无冷凝工况
密封材质:耐化学特种密封件
安装形式:管路螺纹直装,设备本体集成安装
10. 结构特点:紧凑小型化,流路低滞留,便于狭小设备腔体布置
11. 标准配件:阀门本体、密封垫圈、操作手册;配套接头、管路转接头另行选配
SCS13 不锈钢阀体,抗一般性化学腐蚀,适配纯水、清洗药液等工业流体,阀体不易锈蚀产生杂质污染流路。
流路结构优化,降低介质滞留死角,减少药液结晶析出,适配半导体对流体洁净度的管控要求。
密封部件耐化学侵蚀,关断后密封可靠,减少药液泄漏带来的产线安全隐患。
体积小巧紧凑,可直接集成安装在工艺设备腔体内部,节省管路布局空间。
螺纹接口,拆装维护便捷,检修更换无需改动整套管路。
双规格覆盖不同通径,PS‑20A‑SCS13 偏向小流量回路;PS‑65A‑NP 适配更大流量管路,选型灵活。
整体机械加工精度高,开关动作顺滑,反复启闭工况性能稳定。
适配日系半导体设备、清洗设备原装管路体系,替换兼容度高。
运行维护简单,常规只需定期检查密封状态,零部件供应链稳定。
10. 流体工艺行业成熟阀件,新建产线设备配套,老旧不锈钢阀门替换改造均可适用。
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