描述：日本RIKEN 中空纤维膜药液消泡脱气罐
本产品为日本 RIKEN 横滨理化 MF‑500 膜式在线消泡脱气罐，采用氟材质中空纤维膜，膜材只透气不透液，串接在药液管路当中，外接负压真空泵，实现药液内可见气泡、微小微泡以及液体内部溶解气体的持续脱除。接液全部采用高纯 PFA 氟树脂，流路无金属接触，不会析出杂质污染高纯药剂，适配半导体各类腐蚀性化学药液。

产品型号：MF‑500
厂商性质：代理商
更新时间：2026-08-05
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本RIKEN 中空纤维膜药液消泡脱气罐

基础核心参数

型号：MF‑500
设备类型：中空纤维膜负压驱动在线消泡脱气罐
接液材质：全部 PFA 高纯氟树脂
适用流量：80‑300mL/min，推荐 150mL/min 工况使用
腔体容积：150mL
外形尺寸：φ120mm×H160mm
驱动条件：外接负压真空泵，无需供电
安装方式：立式、卧式均可安装，快插接头管路连接
脱气表现：药液溶氧可降至 10ppb 以内
10. 适用介质：光刻胶、显影液、蚀刻液、清洗液、各类有机溶剂；不适合高固含量浆料
11. 使用温度：0‑60℃，无冷凝
12. 标准配件：消泡罐体本体、操作手册；负压真空泵、管路接头另行选配

日本RIKEN 中空纤维膜药液消泡脱气罐

核心功能特点

中空纤维膜物理脱气，不添加消泡药剂，不会改变药液本身成分与浓度，保障药剂纯度。
接液部位全 PFA 氟树脂，耐酸碱、有机溶剂，无金属析出，匹配半导体高纯药液管控要求。
无电气部件，依靠负压真空泵完成脱气，24 小时连续在线运行，适配产线不间断生产。
可同时去除肉眼可见气泡、微观微泡以及液体内部溶解气体，改善流量计量跳动，降低工艺不良。
体积紧凑，立式卧式均可安装，能够直接集成至工艺设备内部，节省产线布局空间。
内部无运动机械零件，故障点少，日常维护负担低，主要为定期检查膜组件状态。
快插接头接口，管路拆装便捷，更换模组无需改动整套流体回路。
对比老式 PTFE 脱气模组，在同等脱气性能下拥有更优的成本表现。
同系列还有 MF‑100、MF‑1000，覆盖不同流量区间，方便产线选型配套。
10. 半导体流体行业成熟脱气组件，新建制程产线配套，老旧消泡脱气模组替换改造均可适用。

适用场景

1. 半导体行业，光刻、显影、蚀刻、清洗药液管路在线脱泡，消除气泡造成制程缺陷。2.LCD 面板行业，各类工艺化学药剂供给回路脱气消泡。3. 精细化工，高纯试剂输送管路，稳定药液流量计量。4. 分析仪器设备内部流体回路，去除微气泡，保障检测精度。5. 新能源材料，各类药液配料输送管路气泡管控。6. 原有管路消泡脱气组件老化失效，现场更新替换。