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日本芝浦SHIBAURA 皮拉尼真空检测设备

描述：日本芝浦SHIBAURA 皮拉尼真空检测设备
本产品为日本芝浦电子技术皮拉尼真空检测设备，依托热传导检测原理完成腔体、管路内部真空程度检测。设备本体结构紧凑，可直接集成在真空腔体与工艺管路之上，将真空状态转化为标准信号向外输出，可供工控系统读取监测。内部热感元件属于精密核心构件，需要防范粉尘、油污侵入，避免压力骤变冲击感应部件，保障长期检测结果稳定。

  • 产品型号：PG 系列
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-07
  • 访问量：8
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本芝浦SHIBAURA 皮拉尼真空检测设备

基础核心参数

  1. 型号：PG 系列

  2. 设备类型：皮拉尼真空计

  3. 品牌：芝浦エレテック SHIBAURA ELETECH（日本）

  4. 作业对象：各类真空腔体、管路内部真空度检测

  5. 检测方式：热传导式皮拉尼检测原理

  6. 输出形式：标准信号输出，对接工控采集控制系统

  7. 安装形式：法兰锁紧安装，适配真空管路腔体集成

  8. 工作环境：工业真空工位，低粉尘，无凝露

  9. 可选配置：多种法兰规格，连接线缆另行选配

  10. 标配配件：真空计本体、操作手册；法兰配件、连接线缆另行选配

日本芝浦SHIBAURA 皮拉尼真空检测设备

核心功能特点

  1. 采用热传导检测原理，实现腔体管路真空度连续监测

  2. 本体结构紧凑，占用空间小，适合真空设备内部嵌入集成

  3. 检测响应速度快，可反馈腔体内部真空实时变化状态

  4. 输出标准化信号，可直接接入各类工控仪表、控制系统

  5. 法兰锁紧密封，真空管路装配作业便捷

  6. 多款子机型可供选用，匹配不同真空区间管控需求

  7. 抗环境振动干扰，适配产线设备持续长时间运行

  8. 感应配件可单独检修更换，不必整套更换设备，降低后期维护成本

适用场景

  1. 半导体行业，各类工艺腔体内部真空状态实时监测管控

  2. 薄膜工艺设备，真空腔体真空度检测，保障工艺条件稳定

  3. 分析检测设备，内部真空腔体状态采集记录

  4. 化工工艺工位，真空反应腔体内部负压监控

  5. 自动化制程设备，腔体真空监测，输出异常报警信号

  6. 原有皮拉尼真空计量设备老化损坏，现场备件替换

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