日本 diavac 大亚真空一体化热阴极电离真空计 TRI-10-N25Y 工作原理

更新时间：2026-10-12

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TRI-10-N25Y 属于一体化 B-A 型热阴极电离真空计，将电离规传感单元、供电控制电路、信号采集与运算模块集成在同一设备内，无需单独外接控制器，依靠热阴极发射电子电离真空腔体内部残余气体，通过检测离子电流换算真空压力，用于高真空区间的压力监测。整套装置主要包含铂质阴极灯丝、栅极阳极、离子收集极、信号放大电路、微处理单元以及 NW25 法兰连接基座。

屏幕截图 2026-10-10 145357.png

设备与被测真空腔体通过法兰连通，规管内部气体分子密度与腔体保持一致。通电启动后，控制电路向阴极灯丝供给稳定电流，灯丝受热产生热电子发射效应，向外释放自由电子。栅极阳极施加正向高压，形成电场，电子在电场作用下加速向栅极运动。部分电子穿过栅网间隙，在栅极包围的电离空间内往复运动，增加与气体分子碰撞的概率。

高速电子和腔体内部中性气体分子发生碰撞，当电子携带能量超过气体分子电离能时，中性分子会被撞击分解，生成正离子与新的自由电子。在发射电流维持稳定的前提下，单位时间内产生的正离子数量，和空间内气体分子密度呈正比，而分子密度直接对应真空压力。电离产生的正离子会在电场引导下，向电位更低的中心离子收集极移动，被收集极捕获，形成微弱离子电流。

收集极采集到的离子电流信号强度很低，需要送入内置放大电路进行信号放大，再由微处理器完成模数转换。设备内置多种气体修正参数，不同种类气体电离特性存在差异，处理器可根据选择的介质类型，套用对应补偿系数，把离子电流换算成标准真空度数值，最终在面板上输出可读压力读数。这款机型具备发射电流自动切换机制，在不同真空区间自动调整电子发射参数，低真空时降低灯丝负荷，高真空时提升信号灵敏度，保障测量稳定。

一体化结构把规管、电源、信号处理整合，减少外部接线带来的信号干扰，缩小安装占用空间，方便直接装配在真空腔法兰上。设备内置保护逻辑，当真空度超出测量量程，系统会自动切断灯丝供电，防止灯丝接触大量气体快速氧化烧断，延长传感器使用寿命。长期使用过程中，电极表面会吸附气体分子，影响测量精度，设备支持除气操作，通过电极加热，脱附附着在电极表面的气体，恢复电极的电离检测性能。

该真空计的测量存在适用范围限制，仅适合高真空环境。当真空压力偏高，气体分子数量过多，大量离子会造成灯丝过载，同时气体分子之间会发生额外碰撞，破坏离子电流与压力的线性关系，导致读数失真。另外，不同气体电离效率不同，若不切换气体补偿参数，直接读取数值会存在偏差，测量前需要确认工艺气体种类。

整体来看，TRI-10-N25Y 依托热电子发射、气体碰撞电离的物理机制，将真空压力转化为可检测的离子电信号。一体化集成设计简化现场安装，配套的自动发射电流控制与过压保护，使其能够稳定监测半导体镀膜、真空热处理等工艺设备内部的高真空状态。

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