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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本justem 桌面式晶圆厚度测量仪
核心参数
产品型号:STM 05
产品类型:桌面式晶圆厚度测量装置
检测方式:气压式非接触测量
工作台形式:分体式样品载台
主机配置:双气压压力表、调节旋钮、数显模块
适配试样:标准规格晶圆、薄片晶片试样
气源条件:外接洁净压缩空气
外形尺寸:主机 W240×D280×H340mm;载台 W220×D220×H210mm
整机重量:主机 14kg,载台 9kg
工作环境:温度 18‑28℃,湿度 20‑70% RH,无粉尘震动
日本justem 桌面式晶圆厚度测量仪
功能特点
主机与测量台分体设计,摆放灵活,适配实验台面。
气压驱动检测机构,不对晶片表面造成划伤损伤。
双压力表直观显示气压状态,旋钮可调节工作气压。
数显模块直接输出厚度测量结果,读数直观。
载台定位牢靠,晶圆放置对位简单便捷。
台式小型结构,不需要占用大量实验室空间。
适合研发阶段小批量晶片样品厚度检测。
运行稳定,可重复完成多次测量作业。
维护简单,工作台可直接清洁处理。
适配半导体工艺前期试样评估检测。
适用场景
半导体实验室硅晶圆样品厚度检测。
新材料研发各类薄片晶片试样厚度测定。
高校半导体相关课题实验样品检测。
工艺研发阶段,小批量晶圆试样筛查。
半导体材料实验室来料厚度复检。
科研院所晶片试样的厚度一致性测试。
半导体工艺改良,试样对比检测工作。
小型研发产线,桌面离线检测工位使用。
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