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日本phil 分体式绝对真空计

描述：日本phil 分体式绝对真空计
分体式绝对真空计，由数显控制器与真空传感探头组成，可实时采集并数字显示真空压力数值，搭载多组接点输出功能。设备测量稳定，响应速度快，多用于半导体行业材料吸附搬运工位，也适配各类设备腔体、真空管路的真空度在线监测。

  • 产品型号：VGS‑240
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-27
  • 访问量：13
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本phil 分体式绝对真空计

核心参数

  • 产品型号：VGS‑240

  • 产品类型：分体式绝对真空计

  • 显示方式：红色数码管，单位 kPa

  • 测量原理：压阻式绝对真空测量

  • 接点输出：SP1‑SP4 四组设定输出

  • 探头型号：SD‑240

  • 真空接口：KF 标准接口

  • 操作按键：UP、DOWN、MODE、POWER 功能按键

  • 供电：AC100‑240V

  • 工作环境温度：0‑45℃，湿度 20‑80% RH 无冷凝

日本phil 分体式绝对真空计

功能特点

  1. 控制器与传感探头分体结构，探头安装于真空端，控制器便于操作人员读取数据。

  2. 数码管大屏数字显示，读数直观清晰，可直接读取绝对真空压力。

  3. 具备四组接点输出，可自由设定阈值，用于设备联锁、报警触发。

  4. 面板按键完成参数设置，阈值、功能模式均可现场配置。

  5. 响应速度快，适合吸附搬运这类动态真空工况实时检测。

  6. KF 标准真空接口，拆装维护方便，适配多数真空管路系统。

  7. 探头体积紧凑，设备集成占用空间小。

  8. 抗干扰性能良好，可长时间连续运行，适配工业现场。

  9. 绝对真空测量，不受环境大气压波动带来的测量偏差。

适用场景

  1. 半导体生产，晶圆、材料吸附搬运工位真空监测。

  2. 自动化设备真空吸附抓手压力检测与联锁控制。

  3. 各类工艺真空腔体、真空管路的真空度在线监控。

  4. 镀膜、蒸发设备真空系统压力监测。

  5. 真空机械手、真空搬运工装配套真空检测。

  6. 科研实验室真空装置压力采集。

  7. 真空包装、真空脱泡设备真空状态反馈。

  8. 新材料工艺设备真空压力测控。

  9. 自动化产线真空回路故障报警、状态反馈。

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